Yarı İletken Gofret İşleme için Özel Sigortalı Kuvars Vakum Emme Plakası

Yarım iletken wafer işleme için özel erimiş kuvars vakum emici plaka

Özel erimiş kuvars vakum emici plaka, kuvars vakum çak, kuvars emici disk veya kuvars vafer tutucusu olarak da bilinir.ve kontrollü vakum adsorpsiyonu yoluyla wafer veya hassas substrat tutmak.

Yüksek saflıkta erimiş kuvarsdan üretilen bileşen, düşük termal genişleme, mükemmel kimyasal direnç, yüksek sıcaklıkta istikrar ve düşük kontaminasyon potansiyelini birleştirir.Yarım iletken için uygundur., fotovoltaik, optik, laboratuvar ve diğer yüksek saflıklı işleme ortamları.

Plak, özelleştirilmiş vakum kanalları, merkezi açıklıklar, kuvars borular, portlar, basamaklı arayüzler ve kaynaklı bağlantı yapılarıyla üretilebilir.Boyutlar ve yüzey koşulları, müşteri ekipman tasarımı ve işletim gereksinimlerine göre üretilir..

Temel Özellikler

Yüksek Saflıklı Erimiş Kuvars

Yüksek kaliteli erimiş silika ile düşük metal kirlilik seviyelerinden yapılmış, wafer işleme ve altyapı işleme sırasında kirliliği en aza indirmeye yardımcı olur.

Düşük Termal Genişleme

Düşük termal genişleme katsayısı, plakanın sıcaklık değişikliklerine maruz kaldığında boyutsal istikrarını korumasına yardımcı olur.

Kimyasal Direnci

Erimiş kuvars, yarı iletken ve laboratuvar ortamlarında kullanılan birçok asit ve proses kimyasalına mükemmel direnç sağlar.ve özel süreç ortamları ayrı ayrı değerlendirilmelidir..

Özelleştirilmiş Vakum Yapısı

Vakum portları, merkezi açıklıklar, gaz bağlantıları, sıvı transfer portları, oluklar ve kaynaklı kuvars borular, ekipman düzenine göre tasarlanabilir.

Hassas Yüzey İşleme

Düzlük, mühürleme, temizlik ve yüzey durumu için farklı gereksinimleri karşılamak için öğütme, mekanik cilalama, ateşle cilalama, lapping ve temizlik seçenekleri mevcuttur.

Çizime dayalı imalat

Her kuvars vakum emici plaka, teknik bir çizim, fiziksel örnek, ekipman boyutları veya uygulama özelliklerinden üretilebilir.

Ürün Özellikleri

Maksimum boyutlar, ulaşılabilir toleranslar, termal koşullar, vakum seviyesi ve basınç sınırlamaları, nihai tasarım ve çalışma ortamına göre değerlendirilmelidir.

Tipik Uygulamalar

• Yarı iletken levha işleme ekipmanları
• Wafer vakum emici ve konumlandırma
• Kesinlik altyapı hizalama sistemleri
• Kuvars işlem odaları ve reaksiyon sistemleri
• Islak banklar ve kimyasal işleme ekipmanları
• Güneş hücresi ve fotovoltaik levha işleme
• Cam ve optik altyapı işleme
• Laboratuvar vakum sistemleri
• Yüksek saflıkta kimyasal ekipman
• Özel olarak tasarlanmış yarı iletken kuvars kümeleri

Özel Tasarım Seçenekleri

Kuvars vakum plakası şu özelliklerle özelleştirilebilir:

• Merkezi delikler veya yerleşik açılar
• Çoklu vakum emici portlar
• Vakum dağıtım çukurları ve kanalları
• Saldırılmış kuvars tüpleri ve bağlantıları
• Düz, açılı veya basamaklı kapılar
• Kuvars flens bağlantıları
• Özel delik desenleri
• Yerel cilalanmış veya mat alanlar
• Çemberlenmiş veya yuvarlanmış kenarlar
• Yerleştirme delikleri veya hizalama özellikleri
• Şeffaf, yarı şeffaf veya mat yüzey koşulları

Vakum kanalı geometri ve emme deliği dağılımı, wafer boyutuna, substrat kalınlığına, gerekli tutma kuvvetine ve izin verilen temas alanına göre tasarlanmalıdır.

Üretim kapasitesi

Entegre kuvars üretim hizmetleri sunuyoruz, bunlar arasında:

• Büyük çaplı erimiş kuvars plaka üretimi
• Hızlı CNC işleme
• Delik delme ve profil kesme
• Vakum çukur ve kanal işleme
• Kuvars tüp ve port kaynakları
• Kwarts flensleri üretimi
• Yüzey öğütme, çırpma ve cilalama
• Kenar çemberleme ve yuvarlama
• Termal kızartma
• Ultrasonik ve yüksek saflıklı temizlik
• Boyut ve görsel denetim

Karmaşık açılış düzenleri, kaynaklı portlar ve özel bağlantı yapıları ayrıntılı teknik çizimlere göre üretilebilir.

Erimiş Kuvars Vakum Plakalarının Avantajları

Geleneksel metal, plastik veya standart cam bileşenlerle karşılaştırıldığında, erimiş kuvars yüksek saflıkta işleme için birkaç avantaj sunar:

• Metal kirliliği riski düşük
• Mükemmel termal kararlılık
• Düşük termal genişleme katsayısı
• Birçok işlem kimyasalına karşı iyi direnç
• Temiz oda ve yüksek saflık uygulamaları için uygundur
• Süreç gözlem için şeffaf veya yarı şeffaf yapılar
• Kontrol edilen çalışma koşullarında yüksek boyutsal istikrar
• Özelleştirilebilir portlar, açıklıklar, oluklar ve bağlantı yapıları

Erimiş kuvarsın uygunluğu, gerekli mekanik yük, vakum düzeyi, termal döngü koşulları ve kimyasal çevreye göre onaylanmalıdır.

Teklif için Gerekli Bilgi

Lütfen teknik değerlendirme ve teklif için aşağıdaki bilgileri sağlayın:

1. Toplam çap veya dış boyutlar
2. Plaka kalınlığı
3. Merkezi açılış boyutları
4. Vakum kapılarının miktarı, çapı ve konumu
5. Vakum oluk veya kanal düzeni
6. Port, boru veya flens bağlantısı boyutları
7. Yüzey bitirme gereksinimleri
8. Düzlük ve boyut toleransları
9. Çalışma sıcaklığı ve termal döngü koşulları
10. Vakum seviyesi veya çalışma basıncı
11. Bileşenle temas halinde olan işlem kimyasalları veya gazları
12. Gerekli miktar
13. Teknik çizim, fiziksel örnek veya ekipman fotoğrafı

Kesin bir port konumlandırması, vakum kanal geometri veya sıkı montaj toleransları gerektiren bileşenler için boyutlandırılmış bir çizim önerilmektedir.

Kalite Denetimi

Çizime ve uygulamaya bağlı olarak, her kuvars emici plaka aşağıdakiler için kontrol edilebilir:

• Toplam çapı ve kalınlığı
• Açılış ve port boyutları
• Liman konumunun doğruluğu
• Düzlük ve paralellik
• Yüzey durumu
• Vakum oluk geometri
• Kaynak bütünlüğü
• Kenar kalitesi
• Çizikler, çatlaklar, çizikler ve diğer görme kusurları
• Temizlik
• Paket koruma

Her bileşen, nakliye sırasında çizilme, çarpma ve kırılma riskini azaltmak için köpük, film veya özelleştirilmiş ambalajla ayrı ayrı korunmaktadır.

Sık Sorulan Sorular

1Plaka çapı ve vakum-port pozisyonları özelleştirilebilir mi?

Evet, çapı, kalınlığı, açılış boyutları, port miktarı, port boyutu, oluk düzeni ve port pozisyonları çiziminize göre üretilebilir.

2Kuvars emici plağı fiziksel bir örnekten üretebilir misiniz?

Evet. Fiziksel bir örnekten bir bileşeni değerlendirebilir ve yeniden üretebiliriz. Ancak, hassas toleranslar veya port pozisyonları gerektiğinde boyutlandırılmış bir teknik çizim önerilir.

3Kuvars plaka içine vakum oluklar veya kanallar işlenebilir mi?

Evet, gerekli vakum dağılımına ve alt katman temas tasarımına göre özelleştirilmiş oluklar, kanallar, yerleşik alanlar ve emici delik desenleri işlenebilir.

4Hangi yüzey kaplamaları mevcut?

Mümkün olan bitirme alanları arasında zemin, mat, lapped, mekanik olarak cilalanmış ve ateşle cilalanmış yüzeyler bulunur.ve temizlik.

5Erimiş kuvars yarı iletken ekipmanları için uygun mu?

Evet, erimiş kuvars yüksek saflığı, termal istikrarı, kimyasal dayanıklılığı ve düşük metal kirliliği potansiyeli nedeniyle yarı iletken ekipmanlarında yaygın olarak kullanılır.

6Kuvars borular veya bağlantı portları plaka üzerine kaynaklanabilir mi?

Evet. Kuvars borular, vakum kapıları, eklemler ve flens yapıları gerekli gaz, vakum veya sıvı bağlantı tasarımına göre plakaya kaynaklanabilir.

7Belirli bir düzlük toleransını garanti edebilir misiniz?

Düzlük yeteneği levha çapına, kalınlığına, açılış düzenine, kaynaklı yapılara ve yüzey finişine bağlıdır.

8Plak pozitif basınç altında kullanılabilir mi?

Ürün, öncelikle vakum emişliği ve konumlandırma için tasarlanmıştır. Pozitif basınç uygulamaları, geometri, duvar kalınlığı, kaynaklı eklemler, sıcaklık,ve güvenlik koşulları.