Precision Multi-Wire Saw for Semiconductor Wafer Cutting, kontrollü tel hareketi, istikrarlı gerginlik, hassas besleme,ince kesim kesimi ve makinenin tutarlı sertliği.

Ekipman kablo kaynağı ve alım, kablo geçiş, gerilim kontrolü, rehber tekerlekler, ana rulo sürücüsü, iş parçasının beslenmesi, gübre dolaşımı,Isı değişimi ve elektrik kontrolü tek bir makine platformundaTedarik edilen ekipman dokümantasyonu, amaçlanan endüstriyel uygulamasını yarı iletken wafer dilimleme olarak tanımlar.

2200 m/min'lik maksimum belirtilen tel hızı, desteklenen tel çapı aralığı 0,014×0,10 mm, 0-15 N arasında ayarlanabilir gerilim ve 0,01-5 mm/min arasında değişken kesim beslemesi ile,Sistem ince tel wafer kesme işlemleri için esnek bir platform sağlar.

Bu makine yarı iletken üretim hatları, pilot üretim, malzeme işleme tesisleri ve kesme doğruluğu,Kablo istikrarı ve ekipmanın tekrarlanabilirliği önemlidir..

Ana Avantajları

Yüksek Hızlı Tel İşlemleri

Makine, aşağıdaki maksimum tel hızını destekler:

2200 m/min

Daha ince tel kullanıldığında yüksek tel hızı özellikle önemlidir, çünkü tel çapı azalırken kesme gücü ve işlem istikrarı hala korunmalıdır.

Kullanılabilir tel çap aralığı:

0.014 mm'den 0.10 mm'e kadar

Bu, kullanıcıların hedef dilimleme işlemine göre tel özelliklerini seçmelerine izin verir.

Düzenlenebilir tel gerilimi

Kablo gerilimi aşağıdakilerden kontrol edilebilir:

0 ̊15 N

Gerim kolu, çelik telin çalışma sırasında seçilen gerimde tutulması için kullanılır.Gerginlik kontrol sistemi motorlu ve süreç gereksinimlerine göre ayarlanabilir..

Sabit gerginlik, wafer dilimleme sırasında öngörülebilir tel hareketini sürdürmek için anahtar mekanik koşullardan biridir.

Presizyonlu besleme kontrolü

Makine, yaklaşık olarak en fazla yolculuk hızına sahip kontrol edilen bir besleme ünitesini kullanır:

220 mm

Kesme besleme hızı:

0.01 ¢5 mm/min

Hızlı besleme hızı:

200 mm/dakika

İş parçasını besleme ünitesine sabitler ve seçilen işlem parametrelerine göre kesim alanından hareket ettirir.

İşleme Kapasitesi

Aygıt için belirtilen standart işleme kağıdı:

Sistem aynı zamanda orijinal teknik yapılandırmaya göre kombinasyonlu iş parçası yüklemesini de destekler.

Teknik özellikler

Bu parametreler tedarik edilen ekipman konfigürasyonundan alınır.

Entegre Kablo Yönetim Sistemi

Makine, tel hareketini kontrol etmekten sorumlu birkaç koordine alt sistemi içerir.

Tel sarma ünitesi

Yuvarlama ünitesi, yeni tel bobini ve alıcı bobini tutar. Makine çalışması sırasında çelik telin beslenmesi ve depolanmasından sorumludur.

Kablo Çaplama Birimi

Çaplama mekanizması, telin pürüzsüz bir şekilde gevşemesine ve eşit bir şekilde geri sarılmasına yardımcı olur.

Gerginlik kolu

Gerginlik birimi, dilimleme sırasında telin kontrol edilen bir gerginlikte kalmasını sağlar.

Kılavuz tekerlekleri

Rehber tekerlekler telin yönlendirmesi ve sabit tel yolculuğunu desteklemek için kullanılır.

Ana iğne birimi

Ana spindle bölümü, makaralar arasındaki gerçek dilimleme işlemini gerçekleştirir.

Besleme birimi

İş parçası besleme sistemine bağlanır ve kesim sırasında programlanmış bir hızla hareket eder.

Bu birimler, genel makine sisteminin ana bileşenleri olarak tanımlanır.

Çamur ve Soğutma Sistemi

Kesme makinesinin tank kapasitesi:

300 litre

Çamur tankı, işleme sırasında soğutma ve kesme sıvısı sağlar.

Dış soğutma suyu ile kesme sıvısının sıcaklığını kontrol etmek için bir ısı değiştiricisi kullanılır. Belirtilen soğutma suyu gereksinimleri şunları içerir:

Soğutma suyu devri, yoğunluğu azaltmak için yalıtım kullanır.

Sert Makine Yapısı

Makine kabı, yüksek dayanıklılıklı bir çelik yapısı kullanırken, taban genel sertliği artırmak için entegre bir döküm yapısı kullanır.

Ekipman ayrıca, doğrudan kurulum zeminine sızan sıvının kesilmesi olasılığını azaltmak için makinenin altında bir tepsisi ile tasarlanmıştır.

Yükseltme platformunun güvenliğini ve istikrarını artırmak için ekipmanın üst bölümüne bir pnömatik güvenlik cihazı yerleştirilir.

Doğrudan Sürücü Mimarlığı

Sürüş sistemi doğrudan bağlantı kullanır.

Tedarik edilen ekipman özelliklerine göre, doğrudan tahrik yapısının ana avantajları şunlardır:

• Daha düşük çalışma gürültüsü
• Kaldırılma parça tüketiminin azalması
• Daha yüksek sürüş hassasiyeti

Ana tekerlekler de tekerlekli motorla çalıştırılır. Bu tasarım, telden tekerleklere aktarılan yükü azaltmak ve tekerlekli oluk aşınmasını ve tel tüketimini azaltmak için tasarlanmıştır.

Kompakt Rol Aracı

Belgelendirilen makine ekseni aralığı yaklaşık olarak:

270 mm

Daha kısa aralık, ana rulolar arasındaki mesafeyi azaltmak ve böylece kesim koşullarını iyileştirmek için tasarlanmıştır.

Orijinal teknik dokümantasyona göre, bu tasarım, işleme süresini ve tel tüketimini azaltırken kesim verimini arttırmayı amaçlamaktadır.

Kablo Kırılma İzleme

Kablo kırılması, wafer dilimleme sırasında önemli bir süreç riskidir.

Ekipman, standart teknik yapılandırmasının bir parçası olarak tel kırılma algılamasını içerir.

Makine, kırılma algılama hassasiyetini artırmak için çift taraflı kırılma alarmı izlemesini de kullanır.Kontrol sistemi beklenmedik güç kesintisi sırasında tel kırılmasını azaltmak için tasarlanmış koruma içerir.

Mekanik Doğruluk

Makine kabul şartnamesi, birkaç önemli mekanik denetim parametresi içerir:

Bu değerler makine düzeyinde belgelenmiş kabul gereksinimlerini tanımlar.

İnce wafer kesme yeteneği

Ekipman belgelerinde şunlar belirtiliyor:

Kesim doğruluğu: ±0,01 mm

ve

Minimum dilim kalınlığı: <0,05 mm

Üretimde elde edilebilecek kesin kalınlık iş parçasına, tel özelliklerine, işlem tarifine, kesme sıvısına, işleme yöntemine ve gerekli verime bağlı olacaktır.

Çok ince levha projeleri için, müşteriler ekipman konfigürasyonu tamamlanmadan önce hedef kalınlığı ve toleransını sağlamalıdır.

Elektrik ve Tesis Gereksinimleri

Standart makine gücü:

Üç fazlı dört telli AC 380 V ± 10%, 50/60 Hz

Teknik dokümantasyonda, 16 mm2 veya daha büyük bakır kabloların monte edilmesi belirtilmiştir.

Referanslı makine enerji tüketimi yaklaşık olarak:

5 kWh

Gerçek tüketim çalışma koşullarına ve yardımcı sistemlere göre değişebilir.

Tavsiye edilen kurulum ortamı

Önerilen çevresel koşullar şunlardır:

Makine özellikleri ayrıca Ø0,03 mm tel, altı rehber tekerleği, 300 L çamur tankı ve hidrolik iş parçasını sıkıştırma kullanıldığında 100 km'den fazla maksimum tel depolama kapasitesinin desteğini onaylar.

Uygulama

Bu ekipmanın belgelenmiş uygulaması:

Yarım iletkenli wafer kesme.

Tipik müşteri projeleri farklı wafer çaplarını, hedef kalınlıklarını ve üretim gereksinimlerini içerebilir.

Çünkü kesme davranışı malzemeye göre önemli ölçüde değişir.Farklı yarı iletken veya sert kırılgan malzemeleri işleme koymayı planlayan müşteriler, son makine konfigürasyonunu onaylamadan önce, süreç değerlendirmesi için ZMSH'ye malzeme bilgilerini sağlamalıdır..

Özel ekipman yapılandırması

Farklı yarı iletken levha projeleri farklı gerektirebilir:

• Tel çapı
• Kablo gerilmesi
• Besleme hızı
• İş parçasının sabitleme cihazı
• Soğutma koşulları
• Çamur konfigürasyonu
• İletişim arayüzü
• Üretim kapasitesi

Ekipman belgelerinde listelenen isteğe bağlı konfigürasyonlar SECS II iletişim, soğutma ekipmanları ve iş parçasının sıkıştırma sıcaklık kontrolünü içerir.

ZMSH bu nedenle, müşteri işlem gereksinimlerine göre ekipman konfigürasyonunu değerlendirebilir.

RFQ Bilgisi

Teklif veya teknik değerlendirme için lütfen şunları belirtin:

1. Malzeme
2. İş parçasının boyutları
3. Gerekli wafer boyutları
4. Hedef wafer kalınlığı
5. Kalınlık toleransı
6. Parti başına miktar
7. Aylık veya günlük kapasite
8. Eğer zaten tanımlanmışsa, kablo spesifikasyonu
9. Gerekli kesim doğruluğu
10. Soğutma suyu koşulları
11. Fabrika güç kaynağı
12. Gerekli isteğe bağlı işlevler

Bu ayrıntıların sağlanması, uygun makine ve işlem konfigürasyonunu belirlemeye yardımcı olur.

Sık Sorulan Sorular

Kırma telinin maksimum hızı nedir?

Belirtilen maksimum tel hızı 2200 m/min.

Makine hangi tel çapını kullanabilir?

Belirtilen tel çap aralığı 0,014 ∼0,10 mm'dir.

Makine ne kadar ince kesebilir?

Ekipman dokümantasyonunda, ilgili çalışma koşullarında 0,05 mm'den küçük dilim kalınlıklarının mümkün olduğu belirtilmektedir.