6–8 İnç Silikon ve SiC Yonga Parlatma Hattı, Dört Kafalı ve Kapalı Döngü Montajlı

Ürüne Genel Bakış

6–8 inç Yarı İletken Yonga Parlatma Otomasyon Hattı, silikon ve silisyum karbür (SiC) yongalar için tasarlanmış, tamamen entegre bir parlatma sonrası üretim sistemidir.

Dört kafalı parlatma, otomatik yonga sökme, seramik taşıyıcı yönetimi, hassas temizleme ve yüksek doğrulukta yonga yeniden montajını tek bir kapalı döngü otomasyon platformunda birleştirir.

Bu sistem, sürekli, kontaminasyon kontrollü, yüksek verimli yonga işleme olanağı sağlar ve bu da onu güç yarı iletken fabrikaları, SiC alt tabaka üreticileri ve gelişmiş paketleme yonga hatları için ideal hale getirir.

Sistem Mimarisi

Tüm hat, dört yüksek koordineli işlem modülünden oluşur:

1. Otomatik Yonga Sökme Ünitesi

Dörtlü parlatmadan sonra, yongalar seramik taşıyıcılardan düşük stresli, kontrollü hareket algoritmaları kullanılarak otomatik olarak ayrılır, aşağıdakileri önler:

• Kenar yontulması

• Mikro çatlaklar

• Kalıntı stres hasarı

Bu, özellikle kırılgan ve yüksek değerli SiC yongalar için kritiktir.

2. Seramik Taşıyıcı Depolama ve Tampon Sistemi

Seramik taşıyıcılar otomatik olarak sıralanır, depolanır ve sevk edilir.
Tampon sistemi şunları sağlar:

• Parlatma hattının sürekli çalışması

• Çok özellikli taşıyıcı uyumluluğu

• Kararlı taktik zaman kontrolü

Bu, manuel kullanımdan veya taşıyıcı kıtlığından kaynaklanan üretim kesintilerini ortadan kaldırır.

3. Ultra Temiz Seramik Taşıyıcı Yıkama Sistemi

Yeniden montajdan önce, her seramik taşıyıcı, aşağıdakileri gidermek için derin seviyeli hassas temizlemeye tabi tutulur:

• Parlatma bulamacı

• Mikron altı parçacıklar

• Kimyasal kalıntılar

Bu, her yeni yonga montaj döngüsü için tekrarlanabilir, kontaminasyonsuz bir yüzey sağlar.

4. Yüksek Hassasiyetli Yonga Yeniden Montaj Ünitesi

Yongalar temizlenmiş taşıyıcılara şunlarla monte edilir:

• Kontrollü basınç

• Mikron altı hizalama

• Ultra yüksek düzlük kontrolü

Bu, bir sonraki dörtlü parlatma adımı için ideal başlangıç koşulunu sağlar, doğrudan parlatma düzgünlüğünü ve son yonga kalitesini iyileştirir.

Temel İşlem Avantajları

Ultra Yüksek Temizlik

Montaj alanı temizliği:

• ≥ 0,5 µm parçacıklar: < 50 adet

• ≥ 5 µm parçacıklar: < 1 adet

Gelişmiş güç yarı iletken ve SiC üretim standartlarına tam uyumludur.

Olağanüstü Montaj Düzlüğü

Montaj düzlüğü ≤ 2 µm
Bu şunları sağlar:

• Düzgün parlatma basıncı

• Kararlı malzeme kaldırma oranları

• Üstün kalınlık düzgünlüğü

Yüksek performanslı güç cihazları ve gelişmiş paketleme yongaları için kritik öneme sahiptir.

Esnek Yüksek Verimli Üretim

Sistem, üreticilerin üretim stratejilerine göre verimlilik, maliyet ve yüzey kalitesini dengelemelerini sağlar.

Teknik Özellikler

• Yonga Boyutu: 6–8 inç Silikon ve SiC yongalar

• Ekipman Boyutları: 13.643 × 5.030 × 2.300 mm (U × G × Y)

• Güç Kaynağı: AC 380 V, 50 Hz

• Toplam Güç Tüketimi: Yaklaşık 119 kW

• Montaj Düzlüğü: ≤ 2 µm

• Montaj Temizliği:
  ≥0,5 µm < 50 adet, ≥5 µm < 1 adet

Uygulama 

• Si ve SiC güç yarı iletken yongalar (MOSFET, IGBT, diyotlar)

• SiC alt tabakalar ve epitaksiyel yongalar

• Gelişmiş paketleme ve ara katman yongalar

• Hassas cihaz sınıfı parlatılmış yongalar

Satış Sonrası Servis ve Destek

• 7/24 uzaktan ve yerinde teknik destek

• 2 saat içinde yanıt

• Yerinde varış: 24 saat içinde (yerel) / 36 saat (yerel olmayan)

• Ücretsiz garanti onarımı ve servisi

• Ömür boyu bakım ve yedek parça desteği

• Kritik yedek parçalar her zaman stokta

• Saha mühendisleri tarafından düzenli önleyici bakım ziyaretleri

SSS – Sıkça Sorulan Sorular

S1: Bu hat hem silikon hem de SiC yongalar için uygun mu?

Evet. Sistem, hem silikon hem de silisyum karbür yongalar için özel olarak optimize edilmiştir. Hareket profilleri, montaj basıncı ve sökme yörüngeleri, SiC'nin yüksek sertliğini ve kırılganlığını güvenli bir şekilde işlemek için ayarlanmıştır.

S2: Bu sistem parlatma verimini nasıl artırır?

Ultra temiz taşıyıcıları, yüksek düzlükte montajı ve tamamen otomatik kullanımı birleştirerek, sistem aşağıdakileri en aza indirir:

• Parçacık kontaminasyonu

• Yonga eğriliği

• Basınç düzensizliği
  Bu, daha kararlı parlatmaya, daha düşük kırılma oranlarına ve daha yüksek yonga verimine yol açar.

S3: Sistem, dörtlü parlatıcı ile sürekli çalışabilir mi?

Evet. Taşıyıcı tamponu ve otomatik lojistik, dörtlü parlatıcının manuel yükleme veya temizleme beklemeden çalışmasını sağlayarak 7/24 sürekli çalışmaya izin verecek şekilde tasarlanmıştır.

İlgili Ürünler

Yonga İnceltme Sistemi Hassas İnceltme Ekipmanı SiC Si Yonga Uyumlu 4 -12 inç Yonga Kapasitesi