Yatay Wafer taşıyıcı Kutusu 8 "12" Güvenli Taşıyıcı RoHS

Yatay Wafer Taşıyıcı ¢ Yarım iletken üretimi için hassas işleme

 
BuYatay wafer taşıyıcıYarım iletken üretiminde kritik bir yeniliği temsil ediyor.Hassas levhaları güvenli bir şekilde taşımak ve saklamak(150 mm ila 450 mm) üretim süreçleri sırasında.Temiz oda uyumluluğuveSüreç istikrarı, bu taşıyıcılarGelişmiş malzemeler ve hassas mühendislikParçacık üretimini en aza indirmek ve aynı zamanda depolama, kazım ve denetim ekipmanlarında wafer verimliliğini en üst düzeye çıkarmak.
 
Geleneksel dikey taşıyıcılardan farklı olarak, yatay tasarımlar şunları sağlar:
 

• Yukarı ve Alt Kapak İç Halka Tasarımı• Kenar temasını önlerken, çiziksiz kullanım sağlamak için wafer yan hareketini en aza indirir.

• Parmak tutmalarıyla güçlendirilmiş alt iç yüzükŞok direncini arttırır ve otomatik ekipman arayüzleriyle uyumluluk sağlar.

• Dört Noktalı Kilitleme Sistemi ve Çarpışmaya Dirençli Dış HalkaYapısal sağlamlıkla tranzit sırasında waferleri korur.

• Yüzeyde yerleşik yazılar• HDPE ambalaj torbalarının lojistik sırasında yırtılmasını önler.

Temel ÖzellikleriYatay levha taşıyıcı kutusu

1- Kesinlikli Wafer Istikrar Sistemi.

Çift kapaklı iç halka teknolojisi:

• Yukarı halka: PVD seramik kaplamalı hassas işlenmiş alüminyum alaşımı

  • 0,05 mm toleranslı 12 noktalı wafer temas sistemi

  • Gerçek zamanlı wafer stres izleme için entegre gerginlik ölçerleri (iletilmez)

• Alt halka: Karbon lif ile güçlendirilmiş kompozit

  • Düzenlenebilir sertliğe sahip 3 bölgeli soğutma parmakları (5-15N/mm)

  • Otomatik termal telafi -40°C ile 200°C arasında çalışmak için

Performans verileri:

• Wafer kayması <0,1 mm 2.5m/s2 hızlandırmada

• Kenar dışlama bölgesi 0,5 mm'ye düşürüldü (tipik 2 mm'den)

• 1 milyon döngü testinde % 0 wafer kırılması

2Gelişmiş Şok ve titreşim koruması

Çok katmanlı koruma mimarisi:

1. Birincil emilim: Viskoelastik polimer amortizörler (15G derecesi)

2. İkincil tampon: Alt plaka titanyum yay sistemi

3. Üçüncü korumaÇarpışmaya dayanıklı polikarbonat tampon bölgeleri

titreşim performansı:

• Önceki jenerasyona göre 5 kat daha iyi titreşim yalıtımı (100Hz'de 0.01g iletim)

• AMHS nakli sırasında <0,2μm TIR (Toplam Gösterilen Akış) tutar

3Endüstri 4.0 Hazırlık

Akıllı Özellikler:

• Entegre IoT sensörleri (sıcaklık, nem, titreşim)

• Sensörün sürekli çalışması için kablosuz şarj

• Fabrika MES entegrasyonu aracılığıyla öngörüsel bakım uyarıları

Otomasyon Arayüzleri:

• Standart E84/E87 robot uç etkisizleştiricisi uyumluluğu

• Aletsiz hızlı serbest bırakma mekanizması (<30 saniye kilit değiştirme)

• ±0,1mm tekrarlanabilirliği olan otomatik hizalama kılavuzları

4Temiz oda için optimize edilmiş tasarım

Parçacık kontrolü:

• Tüm hareketli parçalar, % 95'den fazla yakalama verimliliğine sahip parçacık tuzaklarına sahiptir.

• Seramik kaplamalı kaydırma yüzeyleri (<0,01 parçacık/cm3 jenerasyon)

• Azot temizliği için periyodik temizlik portları

Güvenlik Geliştirmeleri:

• Yüzün 0.3mm altında yerleştirilmiş lazerle kazınmış işaretler

• Tüm keskin kenarların yarıçapı > 0,5 mm

• Antistik malzemeler (106-109 Ω/sq yüzey direnci)

- Hayır.

Yatay wafer taşıyıcı kutusunun uygulanması

1. Front-End Yarım iletken işleme

• İnce film çöküntüsü(CVD, PVD, ALD)

• Plazma kazım/taşlama

• İyon ekimi

2Metroloji ve Denetim

• EUV litografi maskesi taşımacılığı

• Wafer denetim araçları

• X-ışını difraksiyon analizi

3Gelişmiş Paketleme

• 2.5D/3D IC montajı

• Wafer düzeyinde ambalaj (WLP)

• TSV (Through-Silicon Via) süreçleri

4Araştırma ve Geliştirme

• Pilot hattı wafer işleme

• Yeni malzeme geliştirme

• Süreç yeterliliği

Teknik özellikler

S&A

S1: Neden dikey taşıyıcılara karşı yatay taşıyıcıları tercih ediyorsunuz?
A1: Yatay yönelimWafer eğilmesini %60 azaltır.(SEMI E158-1119'a göre), < 5nm düğüm işleme için kritik.
 
S2: Wafer'ın yapışmasını nasıl engellersiniz?
A2: BizimNano desenli cep yüzeyleriStandart tasarımlara kıyasla temas alanını %85 azaltır.
 
D3: Bakım programı nedir?
A3:50,000 döngüYastık değiştirilmeden önce; her 200k döngüde tam yenilenme.
 
Q4Wafer kırıklığı nasıl halledilir?
A4:Parçalanmış wafer kaplamaCepler çapraz kontaminasyonu önler.
 
S5: Taşıyıcılar vakum odalarında kullanılabilir mi?
A5: Evet - özelGaz çıkışı için optimize edilmişmevcut versiyonları (<10−6 Torr·L/s).