Safir aplikatör tüpleri, tüpün mikrodalga veya RF enerjisine, reaktif proses gazlarına, yüksek sıcaklıklara ve plazma tarafından üretilen türlere maruz kalabileceği yarı iletken plazma ve proses ekipmanlarında kullanılan özel bileşenlerdir.

Uzaktan plazma sistemlerinde, reaktif plazma türleri üretmek için mikrodalga enerjisi aplikatör bölgesine kuplajlanırken proses gazı bir aplikatör tüpünden geçebilir. Safir, termal stabilite, elektriksel yalıtım, kimyasal direnç ve mikrodalga/RF iletim özelliklerinin birleşimi nedeniyle bu tür uygulamalar için özellikle uygundur.

Safir aplikatör tüplerimiz, hassas metal muhafazalar, dişli konektörler, sızdırmazlık arayüzleri ve diğer özelleştirilmiş mekanik bileşenleri içeren bireysel tüpler veya komple montajlar olarak tedarik edilebilir.

Burada gösterilen ürün, hassas bir safir tüpü işlenmiş bir metal montaj yapısıyla birleştirir ve yarı iletken proses ekipmanları için bir yedek veya özelleştirilmiş bileşen olarak kullanılması amaçlanmıştır.

Ana Özellikler

Yüksek Saflıkta Safir Malzeme

Uygulama tüpü, zorlu yarı iletken ekipman ortamları için uygun sentetik safirden üretilmiştir.

Safir, yüksek mekanik mukavemetini korurken yüksek sıcaklığa, plazma maruziyetine ve kimyasal olarak agresif proses koşullarına karşı mükemmel direnç sağlar.

Plazma Uygulamaları İçin Uygun

Safir tüpler, plazma aplikatör tüpleri, plazma tutma tüpleri, proses gazı enjektör bileşenleri ve ilgili plazma üretim sistemleri dahil olmak üzere yarı iletken işleme uygulamalarında yaygın olarak kullanılmaktadır.

Mikrodalga ve RF Uyumlu

Safir, mükemmel dielektrik özellikler ve RF/mikrodalga iletim yeteneği sunarak mikrodalga veya uzaktan plazma üretim sistemleri içinde konumlandırılmış bileşenler için uygun hale getirir.

Hassas Tüp Üretimi

Müşteri gereksinimlerine göre tüp boyutları şunları içerecek şekilde kontrol edilebilir:

• Dış çap
• İç çap
• Duvar kalınlığı
• Toplam uzunluk
• Uç geometrisi
• Omuz yapısı
• Oluk tasarımı
• Yüzey kalitesi
• Montaj arayüzü

Safir + Metal Montaj

Safir tüp üretimine ek olarak, işlenmiş metal bileşenleri içeren entegre montajlar sağlayabiliriz.

Mevcut hizmetler şunları içerebilir:

• Hassas metal muhafaza
• Harici dişler
• Dahili montaj yapıları
• Mekanik kovanlar
• Flanşlar
• Sızdırmazlık arayüzleri
• Safirden metale montaj
• Yedek montaj üretimi

Özel Yedek Parçalar

Özelleştirilmiş yarı iletken ekipman parçalarını şunlara göre destekliyoruz:

• Müşteri çizimleri
• Orijinal numuneler
• Ekipman boyutları
• Mevcut bileşen spesifikasyonları
• OEM referans numaraları
• Tersine mühendislik gereksinimleri

Bu, ürünü yarı iletken ekipman bakımı, değişimi ve yerelleştirme projeleri için uygun hale getirir.

Tipik Uygulamalar

Safir aplikatör tüpleri aşağıdaki gibi ekipman ve proseslerde kullanılabilir:

• Uzaktan Plazma Kaynağı sistemleri
• Plazma odası temizliği
• Mikrodalga plazma üretimi
• Yarı iletken CVD ekipmanları
• PECVD ekipmanları
• HDP-CVD ekipmanları
• Plazma aşındırma ekipmanları
• Kuru aşındırma sistemleri
• Proses gazı dağıtımı
• Plazma gazı aktivasyon sistemleri
• Yarı iletken ekipman yedek parçaları

Safir tüpler, yarı iletken plazma aplikatörü, plazma tutma ve proses gazı enjektörü uygulamaları için ticari olarak zaten kullanılmaktadır.

Ürün Özellikleri

Not: Boyutlar ve montaj yapıları müşterinin ekipmanına, çizimine veya mevcut numunesine göre üretilir.

Plazma Aplikatör Tüpleri İçin Neden Safir Kullanılır?

Aplikatör tüpü, plazma üretim sisteminin daha zorlu alanlarından birinde bulunur.

Ekipman tasarımına bağlı olarak, tüp aynı anda reaktif gazlara, enerjik plazma türlerine, mikrodalga enerjisine ve yüksek sıcaklıklara maruz kalabilir.

Geleneksel cam malzemelerle karşılaştırıldığında safir şunların bir kombinasyonunu sunar:

• Yüksek sıcaklık direnci
• Yüksek mekanik mukavemet
• Mükemmel kimyasal stabilite
• Plazma direnci
• İyi dielektrik özellikler
• Mikrodalga/RF iletimi
• Zorlu proses ortamlarında uzun hizmet potansiyeli

Bu nedenle safir, plazma aplikatör tüpleri ve diğer yarı iletken proses ekipmanı bileşenleri için önemli bir mühendislik malzemesi haline gelmiştir.

Özel Safir Aplikatör Tüpü Üretimi

Özel ve yedek uygulamalara odaklanarak yarı iletken ekipmanlar için safir bileşenler üretiyoruz.

Müşterileri standart tüp boyutlarıyla sınırlamak yerine, parçaları gerçek proses ekipmanı gereksinimlerine göre üretebiliriz.

Özelleştirme seçenekleri şunları içerir:

Safir Tüp

• OD ve ID
• Tüp uzunluğu
• Duvar kalınlığı
• Tüp uçları
• Basamaklar ve omuzlar
• Yuvalar ve oluklar
• Yüzey pürüzlülüğü
• Cilalama gereksinimleri

Metal Bileşenler

• Muhafaza boyutları
• Diş spesifikasyonları
• Montaj arayüzleri
• Flanşlar
• Kovanlar
• Konektör yapıları

Montaj

Safir tüpler, monte edilmiş bir yarı iletken ekipman parçası olarak karşılık gelen metal bileşenlerle de tedarik edilebilir.

Yedek ve Tersine Mühendislik Hizmeti

Artık üretilmeyen, bulunması zor veya özelleştirilmiş yarı iletken ekipman parçaları için müşteriler bize şunları gönderebilir:

1. Orijinal ekipman parça numarası
2. Teknik çizim
3. Fotoğraflar
4. Kullanılmış veya yeni numune
5. Kritik boyutlar
6. Ekipman modeli
7. Uygulama bilgileri

Mühendislik ekibimiz, fiyat teklifinden önce yapıyı ve üretim fizibilitesini değerlendirebilir.

Mevcut ekipman bileşenlerine alternatif olarak üretilen parçalar için, nihai uyumluluk her zaman müşterinin ekipman konfigürasyonuna ve teknik spesifikasyonlarına göre doğrulanmalıdır.

Kalite Kontrol

Müşteri gereksinimlerine bağlı olarak denetim şunları içerebilir:

• Boyutsal denetim
• OD / ID denetimi
• Duvar kalınlığı ölçümü
• Uzunluk denetimi
• Yüzey denetimi
• Diş denetimi
• Montaj denetimi
• Görsel kusur denetimi
• Paketleme denetimi

Proje gereksinimlerine göre denetim raporları sağlanabilir.

Fiyat Teklifi İçin Hangi Bilgiler Gönderilmelidir?

Daha hızlı fiyat teklifi için lütfen şunları sağlayın:

• Ürün çizimi
• Safir tüp OD
• Safir tüp ID
• Tüp uzunluğu
• Duvar kalınlığı
• Yüzey kalitesi
• Metal muhafaza malzemesi
• Diş spesifikasyonları
• Ekipman markası/modeli
• OEM parça numarası, varsa
• Gerekli miktar
• Uygulama veya proses ortamı

Çizim yoksa, lütfen değerlendirme için net fotoğraflar ve fiziksel bir numune gönderin.

SSS

Safir aplikatör tüpü ne için kullanılır?

Safir aplikatör tüpü, yarı iletken plazma ekipmanlarında, özellikle plazma üretimi, uzaktan plazma temizliği ve proses gazı aktivasyon sistemlerinde yaygın olarak kullanılır.

Komple aplikatör tüp montajını üretebilir misiniz?

Evet. Safir tüplere ek olarak, çizimlere veya numunelere göre özelleştirilmiş metal muhafazalar, dişli bileşenler ve mekanik montajlar üretilebilir.

Mevcut yarı iletken ekipman parçaları için yedek üretebilir misiniz?

Evet. Yarı iletken ekipman yedek bileşenleri için çizime dayalı ve numuneye dayalı üretimi destekliyoruz. Müşteriler, değerlendirme için OEM referans numarasını, çizimi, numuneyi ve ekipman bilgilerini sağlayabilir.

Safir tüp boyutları özelleştirilebilir mi?

Evet. Dış çap, iç çap, uzunluk, duvar kalınlığı, tüp ucu geometrisi ve yüzey kalitesi özelleştirilebilir.

Küçük miktarlar sunuyor musunuz?

Prototip, bakım ve küçük ölçekli yarı iletken ekipman projeleri, gerekli boyutlara ve üretim zorluğuna göre değerlendirilebilir.