Lityum Tantalat on Insulator (LTOI) levhaları, bir sonraki nesil akustik dalga cihazları için geliştirilen mühendislik piyezoelektrik ince film altyapılardır.Özellikle modern RF ön uç modüllerinde kullanılan sıcaklık karşılığı yüzey akustik dalga (TC-SAW) filtreleri.

LTOI yapısı, ince bir tek kristal lityum tantalate (LiTaO3) katmanını yalıtım oksit katmanı ve silikon destek substratı ile birleştirir.Bu gelişmiş mimari, üstün akustik dalga kapsamını sağlar., daha düşük yerleştirme kaybı, daha iyi sıcaklık istikrarı ve geleneksel toplu lityum tantalate levhalarına kıyasla yüksek frekanslı performans geliştirildi.

LTOI teknolojisi, akıllı telefonlarda, kablosuz iletişim altyapısında, IoT cihazlarında ve ortaya çıkan 5G / 6G iletişim sistemlerinde kullanılan RF filtreleri için önemli bir malzeme platformu haline geldi.

Bir LTOI Wafer nedir?

Bir LTOI levhası, üç fonksiyonel katmandan oluşan birleştirilmiş piyoelektrik altyapıdır:

Lityum tantalat ince film (LiTaO3)

Yüzey akustik dalgalarının üretilmesinden ve yayılmasından sorumlu aktif piezoelektrik katman.

Silikon Dioksit (SiO2) yalıtım tabakası

Elektriksel yalıtım sağlayarak enerji sızıntısını bastıran akustik yalıtım katmanı olarak çalışır.

Silikon Taşıyıcı Wafer

Mekanik destek, iyileştirilmiş wafer işleme ve yarı iletken üretim süreçleriyle uyumluluk sağlar.

Bu çok katmanlı yapı, akustik enerjinin aktif piezoelektrik katmanın içinde yoğunlaşmasını sağlar ve filtre verimliliğini ve cihaz performansını önemli ölçüde artırır.

Üretim Teknolojisi

LTOI levhaları tipik olarak gelişmiş iyon dilimleme ve levha bağlama teknolojileri kullanılarak üretilir.

Adım 1: İyon Ekim

Hidrojen veya helyum iyonları, önceden tanımlanmış bir bölünme katmanı oluşturmak için kontrol edilen bir derinlikte yüksek kaliteli bir lityum tantalate kristaline yerleştirilir.

Adım 2: Wafer Bağlama

İmplant edilmiş lityum tantalate plaka, termal olarak yetiştirilen veya birikmiş bir SiO2 tabakası aracılığıyla bir silikon substratına bağlanır.

Adım 3: Termal Annealing

Kontrollü kızartma, bağlanma ara yüzünü güçlendirir ve yerleştirilmiş düzlem boyunca katman bölünmesini başlatır.

Adım 4: İnce film aktarımı ve cilalama

Aktarılan lityum tantalate filmi mükemmel kalınlık eşitliği ve ultra düşük yüzey kabalığına ulaşmak için hassas bir şekilde cilalanır.

Bu işlem, gelişmiş RF cihazları için uygun yüksek kaliteli piezoelektrik ince filmlerin wafer ölçeğinde üretilmesini sağlar.

Ana Avantajları

Mükemmel sıcaklık denge

LTOI, çevresel sıcaklık değişikliklerinden kaynaklanan frekans kaymasını önemli ölçüde azaltır ve bu nedenle TC-SAW filtreleri için tercih edilen substrat haline gelir.

Yüksek Elektromekanik Koplama

Lityum tantalate güçlü piezoelektrik özelliklere sahiptir ve elektrik ve akustik sinyaller arasında verimli dönüşüm sağlar.

Yüksek Frekanslı İşlem

İnce film mimarisi, geleneksel toplu lityum tantalate substratlarından daha yüksek çalışma frekanslarını destekler ve gelişmiş RF bantları için uygundur.

Üstün Akustik Kaplama

gömülü oksit tabakası, altyapıya akustik enerji sızmasını en aza indirgenir, filtre seçiciliğini, kalite faktörünü (Q) ve ekleme kaybı performansını geliştirir.

Yarım iletken üretimi uyumluluğu

LTOI levhaları, ölçeklenebilir ve uygun maliyetli seri üretimi sağlayan levha düzeyinde üretim süreçlerine entegre edilebilir.

Tipik Uygulamalar

RF ön uç filtreleri

• TC-SAW filtreleri
• SAW Filtreleri
• Çiftelik
• Multipleksörler

Mobil İletişim Aygıtları

• Akıllı telefonlar
• Tabletler
• Giyilebilir elektronik
• IoT cihazları

Kablosuz Altyapı

• 4G LTE baz istasyonları
• 5G iletişim ekipmanları
• Küçük hücre ağları
• Gelecekteki 6G iletişim sistemleri

Akustik Dalga Bileşenleri

• Yüksek frekanslı rezonatörler
• RF sinyal işleme cihazları
• Presizyon frekans kontrolü bileşenleri

Kullanılabilir özellikler

Neden toplu lityum tantalat yerine LTOI'yi seçiyorsunuz?

LTOI teknolojisi, modern kablosuz iletişim sistemlerinin gerektirdiği kompakt, yüksek performanslı RF filtrelerinin üretimi için daha gelişmiş bir platform sağlar.

Sık Sorulan Sorular

1LTOI levhalarının temel uygulaması nedir?

LTOI levhaları, öncelikle akıllı telefonlar, kablosuz iletişim ekipmanları ve yüksek frekanslı elektronik sistemler için RF ön uç modüllerindeki TC-SAW ve SAW filtreleri için kullanılır.

2Neden LTOI levhaları 5G RF filtreleri için tercih edilir?

İnce film yapısı, modern 5G iletişim bantları için kritik gereksinimler olan üstün akustik kapsama, daha düşük yerleştirme kaybı ve iyileştirilmiş sıcaklık istikrarını sunar.

3LTOI levhaları özelleştirilebilir mi?

Film kalınlığı, kristal yönelimi, oksit katmanı kalınlığı, wafer çapı ve yüzey özellikleri tüm cihaz tasarım gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.

İlgili Ürün

Ultra hızlı, düşük güçlü optik modülatörler için SiPh platformu üzerinde TFLN / TFLT