Yarım iletken ekipmanları için özel silikon karbid (SiC) basamaklı seramik plaka

Ürün Genel Görünümü

Bu özel silikon karbid seramik bileşeni, hassas işlenmiş bir basamak kenarı olan dairesel bir plak geometri özelliğine sahiptir.Adımlı yapı, hassas eksenel konumlandırmayı ve yarı iletken işlem odalarına ve gelişmiş termal sistemlere istikrarlı entegrasyonu sağlar.

Yüksek saflıkta SiC seramikten üretilen bileşen, yüksek sıcaklıklara, plazma maruziyetine, kimyasal korozyona ve termal şoka mükemmel direnç sunar.Yüzeyin kasıtlı olarak cilalanmaması, bileşen optik veya elektronik uygulamalardan ziyade işlevsel ve yapısal kullanım için tasarlanmıştır.

Tipik kullanımlar arasında oda kapakları, kapak kapakları, destek plakaları,ve uzun vadeli boyut dengesi ve malzeme güvenilirliği kritik olan yarı iletken üretim ekipmanlarında koruyucu yapısal bileşenler.

Temel Özellikler

• Yüksek saflıklı silikon karbid seramik malzemesi

• Kesin konumlandırma ve montaj için basamaklı kenar tasarımı

• Fonksiyonel performans için optimize edilmiş toprak, cilalanmamış yüzey

• Mükemmel termal kararlılık ve düşük termal deformasyon

• Plazma, kimyasallar ve koroziv gazlara karşı üstün dayanıklılık

• Yüksek mekanik dayanıklılık ve sertlik

• Vakum ve temiz süreç ortamları için uygundur

• Özel boyutlar ve geometriler mevcut

Teknik parametreler (tipik)

Not: Parametreler SiC sınıfına, şekillendirme yöntemine ve işleme gereksinimlerine bağlı olarak değişebilir.

Tipik Uygulamalar

• Yarı iletken işlem odaları (CVD, PECVD, LPCVD, kazma sistemleri)

• Kapak ve kapak kapakları

• Yüksek sıcaklıklı ekipmanlarda yapısal destek levhaları

• Plazma ile yüzleşen veya plazma ile bitişik seramik bileşenler

• Gelişmiş vakum işleme sistemleri

• Yarım iletken ve optoelektronik ekipmanlar için özel seramik yapısal parçalar

Kişiselleştirme yetenekleri

• Özel dış çap ve kalınlık

• Özel basamak yüksekliği ve genişliği

• İsteğe bağlı olarak ince öğütme veya cilalama

• Müşteri çizimlerine veya örneklerine göre işleme

• Küçük parti, prototip ve seri üretim desteklenir

Sık Sorulan Sorular

S1: Bu SiC basamaklı seramik plakanın temel işlevi nedir?

A:
Bu bileşen, esas olarak yarı iletken ve yüksek sıcaklıklı işlem ekipmanlarında bir oda kapağı, destek plağı veya kapak gibi yapısal veya fonksiyonel seramik bir parça olarak kullanılır.Adımlı tasarım, ekipman yapıları içinde doğru konumlandırmayı ve istikrarlı montajı sağlar.

S2: Yüzey neden cilalanmamış?

A:
Bu bileşen optik veya elektronik fonksiyonlar için değil, yapısal ve koruyucu amaçlar için kullanılır.Toprak yüzeyleri yeterli ve genellikle mekanik istikrarın iyileştirilmesi ve işlem odası uygulamalarında üretim maliyetinin azaltılması için tercih edilir.

S3: Bu bileşen plazma ortamları için uygun mu?

A:
Silikon karbid, plazma erozyonuna ve kimyasal korozyona karşı mükemmel direnç sunar.

S4: Bu parça vakum sistemlerinde kullanılabilir mi?

A:
Evet, malzeme ve üretim süreci vakum ortamlarına uygun.SiC seramikleri düşük gaz çıkışını gösterir ve vakum ve termal döngü koşullarında boyutsal istikrarını korur.

S5: Boyutlar ve adım geometri özelleştirilebilir mi?

A:
Dış çap, kalınlık, basamak yüksekliği, basamak genişliği ve kenar özellikleri müşterinin çizimlerine veya uygulama gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.

S6: cilalı veya kaplı versiyonlar sunar mısınız?

A:
İsteğe bağlı olarak ince öğütme veya cilalama da dahil olmak üzere isteğe bağlı olarak yüzey işlemi sağlanabilir. Uygulamaya ve çalışma ortamına bağlı olarak kaplamalar da mevcut olabilir.

S7: Bu tür bir bileşeni tipik olarak hangi endüstriler kullanır?

A:
Bu tür SiC seramik bileşenleri genellikle yarı iletken üretiminde, optoelektroniklerde, gelişmiş vakum sistemlerinde ve yüksek sıcaklıklı endüstriyel işleme ekipmanlarında kullanılır.

İlgili Ürün

CMP Dökme levhası Kimyasal Waferlerin mekanik cilalanması