Wafer İşleme için SiC Keramik Son Etkinleyici - Yarım iletken işleme için korozyona ve ısıya dayanıklı

Ürün Özet:

BizimYüksek Saflıklı SiC Seramik Son EfektörYüksek saflıklı Silikon Karbür (SiC) 'den yapılmıştır.Bu son efektör, yarı iletken işleminde yaygın olarak bulunan aşırı koşullara dayanacak şekilde tasarlanmıştır.Yüksek sıcaklıklar, koroziv kimyasallar ve plazma ortamları gibi. olağanüstü termal ve kimyasal dayanıklılığı ile SiC son efektörü üstün performans, güvenlik,ve hassas yarı iletken levhaları kullanırken uzun ömürlü.

Bu son efektör, wafer taşımacılığı, kazım, deppozisyon ve test de dahil olmak üzere çeşitli kritik işlemler için gereklidir.ve düşük parçacık üretimi, üretim sırasında yarı iletken cihazların bütünlüğünü korumak için çok önemlidir.

Temel özellikleri:

• Malzeme:Yüksek saflıklı Silikon Karbid (SiC) ≥99% saflık

• Isı direnci:Sıcaklığa dayanabilir.1600°C(2900°F)

• Kimyasal direnci:Asit, baz ve plazma ortamlarına mükemmel direnç

• Mekanik Dayanıklılık:Yüksek sertlik ve dayanıklılık sağlayan > 400 MPa'lık bükme sıklığı

• Düşük parçacık üretimi:Kirlenme riskini azaltarak temiz oda uyumluluğunu sağlar

• Özelleştirilebilir Boyutlar:4 ", 6", 8", 12 "wafer taşımacılığı için kullanılabilir, özel tasarımlar ve robotik kol uyumluluğu için yuvalar için seçenekler

• Yüzeyi bitiriyor:Kullanıcının gereksinimlerine göre cilalanmış veya mat finişte mevcuttur

• Temiz oda sınıfı:Sınıf 1 ̇100 temiz odalarda kullanılmak üzere uygundur, yarı iletken işleme ortamlarında optimum temizliği sağlar

Uygulamalar:

• Wafer İşlemleri: Çeşitli üretim aşamalarında yarı iletken levhaların güvenli ve hassas kullanımı

• Yarım iletken işleme: Yüksek sıcaklık ve kimyasal yoğunluklu ortamlar için idealdir.

• Robot Kol Uyumluluğu: Wafer taşımacılığında ve manipülasyonunda kullanılan robot kollarıyla kolay bir şekilde bütünleşmek için tasarlanmıştır

• Paket testi ve çip sınıflandırması: Wafer sınıflandırma ve test işlemlerinde güvenilir performans sağlar

Ürün Özellikleri: