| Marka Adı: | ZMSH |
Yüksek sıcaklık, UV ve hassas elektronik için endüstriyel sınıf 6H SiC substratları
Ürün Genel Görünümü
6H Silikon Karbid (SiC) substratları, yüksek sıcaklık, yüksek voltaj ve özel optoelektronik uygulamalar için tasarlanmış yüksek kaliteli tek kristal levhalardır.6H, biraz daha düşük elektron hareketliliği ancak mükemmel termal kararlılıkla farklı bir altıgen politip sunarUV LED'ler, yüksek sıcaklık sensörleri ve endüstriyel elektronik gibi niş kullanımlar için mekanik dayanıklılık ve maliyet etkinliği.
![]()
![]()
Temel Özellikler
Altıgen 6H Kristal Yapısı:Wafer işleme sırasında boyutsal istikrarı ve mekanik sağlamlığı sağlar.
Elektriksel özellikler:Yüksek sıcaklıklı ve yüksek voltajlı cihazlar için uygun orta elektron hareketliliği; daha küçük cihaz ayak izlerini destekler.
Isı iletkenliği (~ 390 ∼ 450 W/m·K):Güç modüllerinde ve sert ortamlarda verimli ısı dağılımı.
Mekanik Dayanıklılık ve Kimyasal Direnci:Uzun süreli güvenilirlik için yüksek sertlik ve korozyon direnci.
Epi-Hazır Yüzey Seçenekleri:Hidrojen yalıtımı ve CMP cilalama dahil olmak üzere epitaksyal büyüme ile uyumludur.
Özelleştirilebilir Boyutlar ve Kalınlık:Standart çaplarda veya özel üretim ihtiyaçlarına göre uyarlanmış olarak mevcuttur.
Başvurular
Yüksek sıcaklıklı yarı iletken cihazlar ve sensörler
UV LED'ler ve özel optoelektronik
Aşırı koşullara maruz kalan havacılık ve otomotiv elektroniği
Kompakt ve sağlam bileşenler gerektiren endüstriyel elektronikler
Geniş bant aralığı yarı iletkenler için araştırma ve geliştirme
Teknik özellikler (Tipik ve özelleştirilebilir)
| Parametreler | Spesifikasyon |
|---|---|
| Malzeme | Tek kristal 6H SiC |
| Kristal yapısı | Altıgen (6H) |
| Diametre / Boyut | 25 mm (2′′), 50 mm (4′′), 100 mm (4′′), 150 mm (6′′), 200 mm (8′′), 300 mm (12′′); kare veya özel boyutlar mevcuttur |
| Kalınlığı | 350 ‰ 1.000 μm (özelleştirilebilir) |
| Yüzey Dönüşümü | Epi hazır CMP, çift taraflı cilalı (DSP), tek taraflı cilalı (SSP) |
| Toplam Kalınlık Değişimi (TTV) | ≤5 μm tipik |
| Yay / Warp | ≤40 μm (6′′ tipik) |
| Mikropip yoğunluğu | Endüstriyel hedef <0,1 cm−2; premium sınıflar <0,01 cm−2 |
| Değişim yoğunluğu | <104 cm−2 (yüksek voltaj verimi hedefi) |
| İletkenlik | N-tip (iletken), yarı yalıtım (SI) seçenekleri |
| Epi hazır | Evet, epitaksiyel büyüme ile uyumludur. |
Kare Altyapı Avantajları
Yüksek sıcaklık sensörleri ve UV LED'leri:Kare substratlar, elektrotlar ve paket tabanları için hassas bir hizalama sağlar.
Endüstriyel Elektronik:Yüksek entegrasyonla kompakt tasarımı sağlar, paket-substrat boşluklarını azaltır.
RF ve Mikrodalga devreleri (SI seçeneği):Yüksek frekanslı uygulamalar için sinyal kaybının azalması.
Üretim süreci
Toz sentezi: Yüksek saflıklı SiC hammadde.
Tohum Montajı: 6H tohum büyüme ampulasına takılmıştır.
Yüksek sıcaklıkta büyüme: 2300 ∼ 2500 °C'de süblimasyon SiC topu oluşturur.
Kırma: Elmas tel testere parçaları.
Poliş ve Denetim: Epi hazır yüzey için CMP veya elmas cilalama; metroloji ve analiz sertifikası (CoA) sağlanmıştır.
Ana Uygulamalar ve Kullanım Olayları
Yüksek sıcaklık elektronikleri ve endüstriyel sensörler
UV optoelektronik
Aşırı koşullar altında havacılık ve savunma elektroniği
Niş pazarlar için kompakt yüksek güvenilirlik güç cihazları
Geniş bant aralığı yarı iletken cihazlarının Ar-Ge ve pilot üretimi
Sık Sorulan Sorular
16H SiC substratlarını 4H'den ne farklı kılıyor?
6H SiC farklı bir altıgen politip, daha düşük elektron hareketliliğine ve yüksek sıcaklıklı ve özel uygulamalar için uygun maliyetli avantajlara sahiptir.Yüksek verimlilikli güç cihazları.
26H SiC yüksek sıcaklıklara dayanabilir mi?
Evet, aşırı sıcaklık ortamlarında mekanik ve elektrik sabitliğini korur.
3- 6H SiC substratları özelleştirilebilir mi?
Evet, çap, kalınlık, yüzey finişi ve iletkenlik Ar-Ge veya üretim ihtiyaçlarına göre uyarlanabilir.
4Hangi endüstriler 6H SiC substratlarını kullanıyor?
Yüksek sıcaklık sensörleri, UV LED'leri, uçak, otomobil ve endüstriyel elektronikler aşırı koşullarda sağlam performans gerektirir.