HPSI tipi SiC levhaları (Yüksek Saflıklı Yarı yalıtımlı Silikon Karbürü) AI ve AR gözlüklerinde kilit optik malzemelerdir. Yüksek kırılma indeksi (2.6 - 2.7 @ 400 - 800 nm) ve düşük optik emicilik özellikleri, AR dalga kılavuzları için kullanılan geleneksel cam veya reçine malzemelerinde yaygın olan "yağmurkuşağı etkileri" ve yetersiz ışık geçirgenliği gibi sorunları etkili bir şekilde ele alıyorlar.Meta'nın Orion AR gözlükleri HPSI SiC dalga kılavuzu lenslerini kullanır, sadece 0.55 mm kalınlığında ve 2.7 g ağırlığında tek katmanlı bir lensle 70 ° - 80 ° ultra geniş bir görüş alanı (FOV) elde ederek, giyim konforunu ve daldırmayı önemli ölçüde artırır.
![]()
![]()
| Parametreler | Sınıf | Dört inçlik bir substrat. | 6 inçlik alt katman |
|---|---|---|---|
| Çapraz | Z Sınıf / D Sınıf | 99.5 mm - 100.0 mm | 149.5 mm - 150.0 mm |
| Poly tip | Z Sınıf / D Sınıf | 4 saat | 4 saat |
| Kalınlığı | Z derecesi | 500 μm ± 15 μm | 500 μm ± 15 μm |
| D derecesi | 500 μm ± 25 μm | 500 μm ± 25 μm | |
| Wafer yönelimi | Z Sınıf / D Sınıf | Eksen üzerinde: <0001> ± 0,5° | Eksen üzerinde: <0001> ± 0,5° |
| Mikropip yoğunluğu | Z derecesi | ≤ 1 cm2 | ≤ 1 cm2 |
| D derecesi | ≤ 15 cm2 | ≤ 15 cm2 | |
| Direnç | Z derecesi | ≥ 1E10 Ω·cm | ≥ 1E10 Ω·cm |
| D derecesi | ≥ 1E5 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm | |
| Birincil düz yönlendirme | Z Sınıf / D Sınıf | (10-10) ± 5,0° | (10-10) ± 5,0° |
| Birincil düz uzunluk | Z Sınıf / D Sınıf | 32.5 mm ± 2,0 mm | Çentik |
| İkincil düz uzunluk | Z Sınıf / D Sınıf | 18.0 mm ± 2,0 mm | - |
| Kenar dışlama | Z Sınıf / D Sınıf | 3 mm | 3 mm |
| LTV / TTV / Bow / Warp | Z derecesi | ≤ 2,5 μm / ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 30 μm | ≤ 2,5 μm / ≤ 6 μm / ≤ 25 μm / ≤ 35 μm |
| D derecesi | ≤ 10 μm / ≤ 15 μm / ≤ 25 μm / ≤ 40 μm | ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 40 μm / ≤ 80 μm | |
| Kabartma | Z derecesi | Polonya Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Polonya Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm |
| D derecesi | Polonya Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Polonya Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,5 nm | |
| Kenar çatlakları | D derecesi | Toplu alan ≤ 0,1% | Toplu uzunluk ≤ 20 mm, tek uzunluk ≤ 2 mm |
| Çok tipli alanlar | D derecesi | Toplu alan ≤ 0,3% | Toplu alan ≤ 3% |
| Görsel Karbon İçişleri | Z derecesi | Toplu alan ≤ 0,05% | Toplu alan ≤ 0,05% |
| D derecesi | Toplu alan ≤ 0,3% | Toplu alan ≤ 3% | |
| Silikon Yüzey Çizikleri | D derecesi | Her biri ≤1mm | Toplam uzunluk ≤ 1 x çap |
| Kenar Çipler | Z derecesi | Hiçbiri izin verilmez (genişliği ve derinliği ≥ 0,2 mm) | Hiçbiri izin verilmez (genişliği ve derinliği ≥ 0,2 mm) |
| D derecesi | Her biri ≤1 mm | Her biri ≤1 mm | |
| İpeklenme vida dislokasyonu | Z derecesi | - | ≤ 500 cm2 |
| Paketleme | Z Sınıf / D Sınıf | Çoklu Wafer Kaseti veya Tek Wafer Konteyneri | Çoklu Wafer Kaseti veya Tek Wafer Konteyneri |
Entegre bir üretim ve ticaret kuruluşu olarak, ZMSH, SiC ürünleri için uçtan uca çözümler sunar:
Ev içi kristal büyüme fırınları, özelleştirilebilir parametrelerle (2 - 12 inç) 4H-N, 4H-HPSI, 6H-P ve 3C-N tipi levhalar üretir (örneğin, doping konsantrasyonu, bükme gücü).
S1: HPSI SiC Wafer AR gözlükleri için neden kritiktir?
A1: HPSI SiC Wafer'in yüksek kırılma indeksi (2.6 - 2.7) ve düşük optik emilim, AR ekranlarında gökkuşağı efektlerini ortadan kaldırırken ultra ince dalga kılavuzlarını (örneğin, Meta Orion'un 0.55mm lensleri) sağlar.
S2: HPSI SiC, AR optiklerinde geleneksel camdan nasıl farklıdır?
A2: HPSI SiC, daha geniş bir FOV ve tek katmanlı dalga kılavuzlarına ve Micro LED'lerden ısı yönetimi için 490 W/m·K ısı iletkenliğine izin veren camın iki kat kırılma endeksini (~ 2.0) sunar.
S3: HPSI SiC diğer yarı iletken malzemelerle uyumlu mu?
C3: Evet, hibrit sistemlerde GaN ve silikon ile bütünleşir, ancak termal istikrarı ve dielektrik özellikleri yüksek güçlü AR optikleri için üstün hale getirir.
![]()