Ürün ayrıntıları

Ev Ürünler

Yarı İletken Plazma Jeneratörleri için Kaplama Seçenekleriyle Özelleştirilmiş Kuvars Çan Kapları

Marka Adı:	ZMSH
Model Numarası:	Kuvars Çan Kavanozları
Adedi:	5
fiyat:	by case
Teslim Zamanı:	2-4 hafta
Ödeme Şartları:	T/T

Ayrıntılı Bilgiler

Ürün Açıklaması

Ayrıntılı Bilgiler

Menşe yeri:

ÇİN

Sertifika:

rohs

Termal genleşme katsayısı:

~5,5 × 10⁻⁷/°C

Saflık:

≥%99,999

Sıcaklık direnci:

Uzun süreli ≥1000°C, kısa süreli 1200°C'ye kadar

Yapı:

Çan kavanozu şekli (Kubbe) veya silindirik

Aktarma:

Derin ultraviyoleden kızılötesi dalga boylarına yüksek geçirgenlik

Dayanılabilir Vakum:

Yüksek vakum (örn. 10⁻⁶ ~ 10⁻⁹ Torr)

Plazma Korozyon Direnci:

CF₄, O₂ gibi yaygın proses gazlarına karşı dayanıklıdır

Başvuru:

Yarı İletken Plazma Jeneratörleri

Ambalaj bilgileri:

100 dereceli temizlik odasında paket

Vurgulamak:

Yarıiletken Plazma Jeneratörleri Kaplama

Özelleştirilmiş Yarıiletken Plazma Jeneratörleri

Yarıiletken Plazma Jeneratörleri Çan Kavanozları

Ürün Açıklaması

Kuvars Çan Kapakları Ana Tanıtımı

ZMSH'nin Kuvars Çan Kapakları Ana Tanıtımı

ZMSH Kuvars Çan Kapakları, modern yarı iletken üretimi ve vakum proses ortamlarının katı taleplerini karşılamak üzere özel olarak tasarlanmış, yüksek saflıkta kuvars malzemelerden üretilmektedir. Olağanüstü termal kararlılık ve kimyasal ataletinden yararlanan bu ürün, gofret oksidasyonu, yarı iletken tavlama ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) gibi kritik proseslerde üstün uygunluk sergilemektedir.

Kusursuz entegrasyon için tasarlanan ZMSH Kuvars Çan Kapakları, çeşitli çan tipi vakum sistemleri ve odalarıyla tam uyumludur, yüksek performans ve operasyonel güvenilirlik sağlar. Yüksek saflıkta kuvars yapısı, cam vakum çan kapak kurulumlarında veya yüksek sıcaklık proses senaryolarında kullanıldığında dikkate değer dayanıklılık ve istikrarlı uzun süreli performans sağlar.

ZMSH'nin yarı iletken kuvars bileşenleri üretimindeki uzmanlığı üzerine inşa edilen kuvars çan kapaklarımız, sadece yüksek sıcaklık koşullarına dayanmakla kalmaz, aynı zamanda kritik prosesler sırasında aşırı malzeme saflığını da korur. Bu kapaklar, hem araştırma laboratuvarlarında hem de endüstriyel ekipmanlarda yaygın olarak uygulanabilir, proses tutarlılığının artırılmasına ve vakum sistemlerinin genel verimliliğinin iyileştirilmesine katkıda bulunur.

Kuvars Çan Kapakları Teknik Özellikleri

Aşağıda, yarı iletken plazma jeneratörlerindeki kuvars çan kapaklarının temel parametrelerinin bir özeti bulunmaktadır ve temel özellikleri vurgulanmaktadır:

Parametre Kategorisi	Belirli Parametreler	Açıklamalar/İzahlar
Malzeme Özellikleri	Saflık: ≥99.999% (5N sınıfı) Sıcaklık Dayanımı: Uzun süreli ≥1000°C, kısa süreli 1200°C'ye kadar Termal Genleşme Katsayısı: ~5.5 × 10⁻⁷/°C	Yüksek saflık, kontaminasyonu azaltmak için önemlidir; düşük genleşme katsayısı termal kararlılığı sağlar
Geometrik Boyutlar	Çap: Yüzlerce milimetreye kadar (farklı aletlerle uyumlu) Yapı: Çan şekli (Kubbe) veya silindirik	Boyutlar, reaksiyon odası ve alt tabaka boyutuyla eşleşmelidir
Optik Performans	Geçirgenlik: Derin ultraviyoleden kızılötesi dalga boylarına kadar yüksek geçirgenlik	Optik izlemeyi ve proses son nokta tespitini kolaylaştırır
Proses Uyumluluğu	Dayanılabilir Vakum: Yüksek vakum (örneğin, 10⁻⁶ ~ 10⁻⁹ Torr) Plazma Korozyon Direnci: CF₄, O₂ gibi yaygın proses gazlarına karşı dirençlidir	Zorlu plazma ortamlarında uzun süreli istikrarlı çalışmayı sağlar

Kuvars Çan Kapaklarının Proses İlkesi

Yarı iletken plazma jeneratöründeki kuvars çan kapağının rolü, "plazma reaksiyonları için ideal alanı yaratmak ve korumak" olarak anlaşılabilir.

Mühürlü Bir Ortam Oluşturma: Kuvars çan kapağı, contalar (örneğin, O-ringler) aracılığıyla bir metal taban plakası gibi bileşenlerle birleştirilerek mühürlü bir reaksiyon odası oluşturur. Proses başlamadan önce, vakum sistemi çan kapağının içini yüksek bir vakuma (örneğin, 10⁻⁶ ila 10⁻⁹ Torr mertebesinde) tahliye ederek, havadaki nem ve oksijen gibi safsızlıkları tamamen giderir ve plazma reaksiyonu için saf bir "sahne" sağlar.

Enjeksiyon ve Uyarım: Yüksek saflıkta proses gazları (örneğin, aşındırma için CF₄, biriktirme için SiH₄ veya yardımcı gaz Ar) hassas bir şekilde kontrol edilir ve çan kapağına enjekte edilir. Daha sonra, mikrodalga veya radyo frekansı gibi enerji kaynakları bu gazları uyararak iyonize eder ve plazma oluşturur; bu plazma, yüksek oranda aktif iyonlar, elektronlar ve radikaller içerir.

Reaksiyonu Sürdürme: Reaksiyon sırasında, kuvars çan kapağının yüksek kimyasal kararlılığı ve düşük gaz salınımı kritik öneme sahiptir. Plazmanın odacık duvarlarını aşındırmasına ve erozyonuna karşı etkili bir şekilde direnir, böylece çan kapağının kendisinin bir kontaminasyon kaynağı olmasını engeller, böylece proses tutarlılığını ve gofret ürün saflığını sağlar.

Yüksek Saflıkta Kuvars Çan Kapakları: Temel Özelliklere Genel Bakış

1. Tasarım ve Yapı

Düz bir tabana ve açık bir üste sahip silindirik veya konik çan şeklinde tasarımlı kuvars çan kapakları, numune erişimini kolaylaştırır ve vakum veya inert gaz ortamlarını korumak için odacık sızdırmazlığını sağlar, zorlu çalışma koşullarında yapısal bütünlük gereksinimlerini karşılar.

2. Yüksek Saflık Standardı

Kuvars çan kapakları, özellikle yarı iletken endüstrisinin katı saflık taleplerini karşılayarak ve hassas uygulamalar için kontaminasyonsuz bir ortam sağlayarak, prosesler sırasında numune kontaminasyonunu önlemek için yüksek saflıkta eritilmiş kuvarsdan üretilmektedir.

3. Termal Kararlılık

Olağanüstü yüksek sıcaklık direncine sahip kuvars çan kapakları, yüksek sıcaklık prosesleri sırasında şekil kararlılığını korur ve termal oksidasyon ve tavlama gibi hassas sıcaklık kontrolü gerektiren ısıtma uygulamaları için uygun hale getirir.

4. Kimyasal Atalet

Çoğu kimyasala karşı yüksek toleransa sahip kuvars çan kapakları, aşındırıcı reaksiyon ortamlarında kararlılık sağlar, işlenen malzemelerle reaksiyonları önler ve proses sonuçlarının doğruluğunu ve tekrarlanabilirliğini garanti eder.

5. Optik Şeffaflık

Ultraviyoleden görünür ışık spektrumlarına kadar geçirgenliğe sahip kuvars çan kapakları, odacık içindeki proseslerin gerçek zamanlı görsel olarak izlenmesini destekler, proses optimizasyonu ve araştırma gözlemi için sezgisel bilgiler sağlar.

6. Vakum Uyumluluğu

Zemin cam flanşlar gibi sızdırmazlık tasarımlı kuvars çan kapakları, kimyasal buhar biriktirme (CVD) gibi hassas atmosfer kontrolü için proses gereksinimlerini karşılayarak, vakum ortamlarını etkili bir şekilde korumak için vakum sistemleriyle uyumluluğu sağlar.

Kuvars Çan Kapaklarının Birincil Uygulama Alanları

Yukarıdaki özelliklere dayanarak, kuvars çan kapakları öncelikle aşağıdaki temel yarı iletken üretim proseslerinde kullanılmaktadır:

Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (PECVD): PECVD proseslerinde, kuvars çan kapağı silisyum nitrür ve silisyum dioksit gibi filmlerin biriktirilmesi için kararlı bir reaksiyon ortamı sağlar. Yüksek saflığı ve sıcaklık direnci, biriktirilen filmlerin kalitesini sağlar.

Kuru Aşındırma: Aşındırma proseslerinde, kuvars çan kapağı yüksek oranda aşındırıcı flor bazlı, klor bazlı plazmalara dayanabilir, reaksiyon odasının diğer bileşenlerini korur ve aşındırma prosesinin tekdüzeliğini ve tekrarlanabilirliğini korur.
Mikrodalga Plazma Kimyasal Buhar Biriktirme (MPCVD): Büyük boyutlu, yüksek kaliteli elmas filmler (yarı iletken ısı dağılımında vb. kullanılan) üretmek için MPCVD gibi gelişmiş proseslerde, kuvars çan kapağı, saf bir plazma ortamı yaratma yeteneği nedeniyle önemli bir bileşendir.

ZMSH Hakkında

ZMSH, yarı iletken, optoelektronik ve üst düzey üretim sektörleri için yüksek performanslı malzeme çözümleri sağlama konusunda uzmanlaşmıştır. Plazma proses ekipmanları için kuvars çan kapakları gibi temel bileşenleri özelleştirme konusunda olgun yeteneklere sahip olan ZMSH, sızdırmazlık, sıcaklık direnci ve plazma korozyon direnci için müşteri gereksinimlerine göre uyarlanmış yüksek saflıkta kuvars malzemeler kullanır. Şirket, aşındırma, CVD ve diğer proseslerde istikrarlı performans sağlamak için boyutları, flanş arayüzlerini ve optik geçirgenliği hassas bir şekilde kontrol eder.

Ek olarak, ZMSH, safir optik pencereler ve alt tabakalar, silisyum karbür (SiC) güç cihazı alt tabakaları, silisyum gofretler, kuvars özel bileşenler ve SOI gofretler dahil olmak üzere bir dizi özelleştirilmiş ürün tedarik etmektedir. Bu ürünler, tüketici elektroniği, havacılık ve tıp cihazları gibi endüstrilerde yüksek sertlik, termal iletkenlik ve yalıtım için katı talepleri karşılayan, malzeme hazırlamadan hassas işlemeye (örneğin, kesme, taşlama, parlatma) kadar tam zincir hizmetlerini kapsamaktadır.

Malzeme Ar-Ge'sini esnek bir üretim sistemiyle entegre ederek, ZMSH, müşteriler için teknolojik yeniliği ve ürün yükseltmelerini destekleyerek, standart dışı ürünlerin hızlı prototiplemesini ve toplu teslimatını sağlar.

Kuvars Çan KapaklarıSSS

1.S: Yarı iletken plazma proseslerinde bir kuvars çan kapağının ana işlevi nedir?

C: Kuvars çan kapağı, plazma reaksiyonları için kararlı bir ortam sağlayan yüksek saflıkta mühürlü bir odacık olarak hizmet eder. Yüksek ışık geçirgenliği ve korozyon direnci, aşındırma ve biriktirme gibi proseslerde tekdüzeliği ve düşük kontaminasyon seviyelerini sağlar.

2. S: Bir kuvars çan kapağının değiştirilmesi gerekip gerekmediği nasıl belirlenir?

C: Tekrarlanan temizleme veya plazma korozyonu, kalınlığının güvenli bir eşiğin altına düşmesine (örneğin, temel ölçüm noktalarındaki kalınlık referans aralığından sapar) veya aşırı yüzey birikintileri plazma kararlılığını etkilemeye başladığında bir kuvars çan kapağının değiştirilmesi gerekir.

Etiketler: #Kuvars Çan Kapakları, #Kaplama Seçenekleri, #Özelleştirilmiş Boyut/Şekiller, #Yarı İletken Plazma Jeneratörleri, #Özelleştirilmiş, #Eritilmiş Silika, #Eritilmiş Kuvars, #Yüksek saflıkta Kuvars Çan Kapağı

Etiketler:

Galyum Nitrür Gofret

Safir Gofret

SiC Substrat

Safir Optik Pencereler

IC Silikon Gofret

Tel testere makinesi

Sentetik Safir Çubuk

Sigortalı Kuvars Levha

Safir Parçaları

Sentetik Taş

Yarıiletken Ekipmanı

LiNbO3 Gofret

İndiyum Fosfür Gofret

Seramik yüzey

laboratuvar ambalajı

GaAs Gofret