4 inç 6 inç 8 inç SICOI wafer 4H-SiC yalıtım üzerinde 100 ila 150 mm sic film ON silikon

4 inç 6 inç 8 inç SICOI yonga levha yalıtkan üzerinde 4H-SiC 100 ila 150 mm sic film SİLİKON ÜZERİNDE

SICOI (Yalıtkan Üzerinde Silisyum Karbür) yonga levhalar, silisyum karbürün (SiC) olağanüstü fiziksel özelliklerini, bir yalıtım katmanının (örneğin, SiO₂ veya Si₃N₄) elektriksel yalıtım avantajlarıyla birleştiren yüksek performanslı bir yarı iletken alt tabaka malzemesini temsil eder. SICOI yapısı tipik olarak bir SiC tek kristal katmanı, bir yalıtım katmanı ve bir destekleyici alt tabakadan (örneğin, Si veya SiC) oluşur. Bu konfigürasyon, yüksek güçlü, yüksek frekanslı ve yüksek sıcaklıklı elektronik cihazların yanı sıra RF (Radyo Frekansı) ve MEMS sensör alanlarında yaygın uygulamalar bulur.

Geleneksel SiC yonga levhalara kıyasla, SICOI yonga levhalar, bir yalıtım katmanının dahil edilmesi yoluyla parazitik kapasitansı ve kaçak akımı önemli ölçüde azaltır, böylece cihazın çalışma frekansını ve enerji verimliliğini artırır. Bu teknoloji, elektrikli araçlar, 5G iletişim ve havacılık elektroniği gibi yüksek voltaj direnci, düşük kayıp ve üstün termal performans gerektiren uygulamalar için özellikle uygundur.

SICOI Yonga Levhaların Temel Özellikleri

SICOI Yonga Levhaların Birincil Uygulamaları

 

4H-SiCOI'nin hazırlanma süreci

 

4H-SiCOI'nin ve vurgulanmış özelliklere sahip mikrorezonatörlerin imalat süreci.

 

• a Pristine 4H-SiCOI malzeme platformunun imalat süreci.
• b Bağlama ve inceltme yöntemi kullanılarak üretilen 4 inçlik bir yonga levha ölçekli 4H-SiCOI alt tabakasının fotoğrafı, arıza bölgesi işaretlenmiştir.
• c 4H-SiCOI alt tabakasının toplam kalınlık varyasyonu.
• d Bir 4H-SiCOI kalıbının görüntüsü.
• e Bir SiC mikrodisk rezonatörünün imalatının akış şeması.
• f İmal edilen mikrodisk rezonatörünün bir taramalı elektron mikrografı (SEM).
• g Rezonatörün yan duvarının yakınlaştırma SEM görüntüsü. Ek, rezonatörün üst yüzeyinin atomik kuvvet mikrografı (AFM) taraması (Ölçek çubuğu = 1 μm).
• h İmal edilen rezonatörün parabolik benzeri şekilli üst yüzeye sahip yan görünüm SEM görüntüsü.

 

 

 

 

 

---

 

SICOI Yonga Levhalar Soru-Cevap​

1. S: SICOI yonga levha nedir?
    C: SICOI (Yalıtkan Üzerinde Silisyum Karbür) yonga levha, güç ve RF cihazlarında gelişmiş elektriksel yalıtım için SiC'nin yüksek performans özelliklerini bir yalıtım katmanıyla birleştiren gelişmiş bir yarı iletken alt tabakadır.

2. S: SICOI yonga levhaların avantajları nelerdir?
    C: SICOI yonga levhalar, standart SiC yonga levhalara kıyasla daha düşük parazitik kapasitans, daha yüksek kırılma voltajı ve daha iyi termal yönetim sunar, 5G ve EV uygulamaları için idealdir.

Etiket: #4 inç 6 inç 8 inç, #Özelleştirilmiş, #4H-SiCOI Yonga Levhalar, #Kompozit Yalıtkan Üzerinde SiC Alt Tabakalar, #SiC, #SiO2, #Si, #SICOI yonga levha 4H-SiC yalıtkanda, #100 ila 150 mm, #sic film SİLİKON ÜZERİNDE, #CBirkaç mikron SiO2'nin üzerinde, Si'nin üzerinde birkaç mikron SiC'den oluşur.