ESD-Güvenli Wafer Depolama için 1 Inç Tek Wafer Kaseti
1 inç wafer kaseti, yarı iletken üretiminde, optoelektronik cihazlarda,ve mikroelektronik araştırma ve geliştirmeYüksek saflıklı polimerlerden (PEEK veya PVDF gibi) veya antistatik malzemelerden üretilen, waferin kirliliğe, elektrostatik hasara,ve temiz oda ortamlarında fiziksel etki. SEMI standartlarına uygun olan kaset, MOCVD, PECVD, litografi ve kazma gibi süreçlerde otomatik vafer transfer sistemleri için uygundur.
1 inç Wafer KasetiTemel Özellikler
1Ultra Temiz Performans:
• Ultra düşük parçacık üretimi ile Sınıf 100 temiz oda için sertifikalı 1 Inch Wafer Cassette (<5 parçacık/ft3 için >0.1μm)
• Yüzeyin pürüzsüz olması, waferin çizilmesini önler
2ESD Koruması:
• Karbon lif ile güçlendirilmiş veya yüzey direnci 106-109Ω/sq olan antistatik kaplama
• 1 Inch Wafer Cassette, parçacık çekimini ve elektrostatik boşaltma hasarını etkili bir şekilde önler.
3Mekanik Güvenilirlik:
• Yüksek sıcaklığa (150°C'ye kadar) ve kimyasallara (asitlere, alkalilere ve organik çözücülere karşı) dayanıklı
• 1 Inch Wafer Cassette, güvenli nakliye için titreşim testine uygun tasarım
4Otomasyon uyumluluğu:
• 1 Inch Wafer Cassette standartlaştırılmış arayüzleri (SMIF/FOUP uyumlu) robot işleme
• Büyük yarı iletken ekipmanları ile uyumludur (ASML, Uygulanan Malzemeler, vb.)
5Kesinlik Wafer Koruması:
• 1 Inch Wafer Cassette slot pitch doğruluğu ±0.1mm ve wafer konumlandırma hatası ≤0.05mm
• Wafer izlenebilirliği için isteğe bağlı RFID etiket yuvaları
1 inç Wafer KasetiBaşlıca Uygulamalar
Yarı iletken üretimi:
• GaN/SiC levhaları için ön uç işleme (litografi, iyon implantasyonu)
• Geleneksel yarı iletkenlerin (Si, GaAs, InP) işlenmesi
• Güç cihazı (MOSFET/IGBT) ve RF cihazı (GaN) üretimi
2Optoelektronik:
• LED/MicroLED çip ve lazer (VCSEL/EEL) levha işleme
• UV/IR/görünür LED epitaksyal işleme
Araştırma ve Geliştirme Uygulamaları:
• Akademik ve araştırma kurumlarında küçük wafer deneyleri ile 1 inç Wafer Kaseti
• Yeni optoelektronik malzemeler araştırması (kuantum noktaları, perovskitler)
4MEMS Üretimi:
• Sensör levhaları için koruma (accelerometers, gyroscopes, basınç sensörleri)
• Bio-MEMS ve optik MEMS cihazları üretimi
5 Gelişmiş Paketleme:
• 1 Inch Wafer Cassette, wafer düzeyinde ambalajlama (WLP) ve 3 boyutlu IC entegrasyonu için geçici bir depolama alanıdır.
İlgili ürün önerileri
ZMSH 1 ila 6 inçlik tek wafer kasetleri sağlar. Biz de yarı iletken üretimi için profesyonel wafer depolama ve transfer çözümleri sağlarız. 1 inçlik GaAs malzemeleri için laboratuvar araştırma ve geliştirme, 2 inçlik LED / MEMS işleme, 3 inçlik SiC / GaN güç cihazları, 4 inçlik ana akım silikon yarı iletkenler ve 6 inçlik gelişmiş IC üretimini destekler. Tüm boyutlar, temiz oda ortamlarında güvenilir transfer için SEMI standartlarına uymaktadır.
1 Inch Wafer Cassette Sık Sorulan Sorular
1. S: 1 inçlik bir wafer kaseti ne için kullanılır?
Cevap: Araştırma laboratuvarlarında 1 inçlik yarı iletken levhaların kullanımı ve depolanması ve küçük ölçekli optik elektronik cihazların üretimi için kullanılır.
2. S: 1 inçlik wafer kasetleri hangi malzemelerden yapılır?
A: Genellikle temiz oda uyumluluğu için anti-statik özelliklere sahip PEEK veya PVDF gibi yüksek saflıklı polimerlerden yapılırlar.
Etiketler: #1 Inç Tek Wafer Kaseti,#ESD Güvenli,#Wafer Depolama
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
