1 İnç Tekli Yonga Kasası (ESD Güvenli Yonga Saklama İçin)

ESD-Güvenli Wafer Depolama için 1 Inç Tek Wafer Kaseti

1 inç wafer kaseti, yarı iletken üretiminde, optoelektronik cihazlarda,ve mikroelektronik araştırma ve geliştirmeYüksek saflıklı polimerlerden (PEEK veya PVDF gibi) veya antistatik malzemelerden üretilen, waferin kirliliğe, elektrostatik hasara,ve temiz oda ortamlarında fiziksel etki. SEMI standartlarına uygun olan kaset, MOCVD, PECVD, litografi ve kazma gibi süreçlerde otomatik vafer transfer sistemleri için uygundur.

1 inç Wafer KasetiTemel Özellikler

1Ultra Temiz Performans:

• Ultra düşük parçacık üretimi ile Sınıf 100 temiz oda için sertifikalı 1 Inch Wafer Cassette (<5 parçacık/ft3 için >0.1μm)

• Yüzeyin pürüzsüz olması, waferin çizilmesini önler

2ESD Koruması:

• Karbon lif ile güçlendirilmiş veya yüzey direnci 106-109Ω/sq olan antistatik kaplama

• 1 Inch Wafer Cassette, parçacık çekimini ve elektrostatik boşaltma hasarını etkili bir şekilde önler.

3Mekanik Güvenilirlik:

• Yüksek sıcaklığa (150°C'ye kadar) ve kimyasallara (asitlere, alkalilere ve organik çözücülere karşı) dayanıklı

• 1 Inch Wafer Cassette, güvenli nakliye için titreşim testine uygun tasarım

4Otomasyon uyumluluğu:

• 1 Inch Wafer Cassette standartlaştırılmış arayüzleri (SMIF/FOUP uyumlu) robot işleme

• Büyük yarı iletken ekipmanları ile uyumludur (ASML, Uygulanan Malzemeler, vb.)

5Kesinlik Wafer Koruması:

• 1 Inch Wafer Cassette slot pitch doğruluğu ±0.1mm ve wafer konumlandırma hatası ≤0.05mm

• Wafer izlenebilirliği için isteğe bağlı RFID etiket yuvaları