Yarı iletken wafer işleme için elmas tel tek/çoklu tel testere makinesi
Elmas tel tek / çok tel çift istasyonlu kesme makinesi, sert ve kırılgan malzemeleri işlemek için özel olarak geliştirilen yüksek kaliteli bir hassasiyet ekipmanıdır.Elektroplatürlü elmas tel teknolojisi kullanan ve çift bağımsız çalışma istasyonlarıyla donatılmış, tek tel hassas işleme ve çok tel seri üretim modları arasında esnek geçiş yapabilmektedir.ve adaptif soğutma teknolojisi, bu nedenle, yarı iletken levhaları, fotovoltaik silikon levhaları ve optik bileşenleri içeren hassas kesim uygulamaları için idealdir.
Elmas tel tek/çoklu tel testere makinesi teknik özellikleri
| Parametreler |
Spesifikasyon |
| Proje |
Tek/çoklu tel testere |
| İş parçasının maksimum boyutu |
ø 320*430mm |
| Ana rulo kaplama çapı |
Ø 210*450mm (Beş ana rulo) |
| Kablo süresi |
1000 (MIX) m/min |
| Elmas tel çapı |
0.2-0.37mm |
| Besleme tekerleğinin hat depolama kapasitesi |
20 ((0,25mm) elmas tel çapı/km |
| Kesim kalınlık aralığı |
1.5-80mm |
| Kesme doğruluğu |
0.01mm |
| İş istasyonunun dikey kaldırma çarpması |
350 mm |
| Kesim yöntemi |
Çalışma masası yukarı doğru salınır, ancak elmas telin konumu değişmez |
| Kesme besleme hızı |
0.01-10mm/min |
| Su tankı |
300L |
| Kesme sıvısı |
Pas karşıtı yüksek verimli kesme sıvısı |
| Swing açısı |
±8° |
| Swing hızı |
0.83°/s |
| En yüksek kesim gerilimi |
100N (En az birim 0.1N ayarlayın) |
| Kesme derinliği |
430 mm |
| İş istasyonu |
2 |
| Güç kaynağı |
Üç fazlı beş tel AC380V/50Hz |
| Alet makinesinin toplam gücü |
≤52kW |
| Ana motor |
7.5*3kW |
| Kablolama motoru |
0.75*2kW |
| Çalışma masası salıncak motoru |
1.3*2kW |
| Gerginlik kontrol motoru |
4.4*2kW |
| Kablo serbest bırakma ve toplama motoru |
5.5*2kW |
| Dış boyutlar (kalkanlı kol kutusu hariç) |
2310*2660*2893mm |
| Dış boyutlar (kalkanlı kol kutusu dahil) |
2310*2660*2893mm |
| Makine ağırlığı |
6000kg |
Elmas tel tek/çoklu tel testere makinesinin çalışma prensibi
1Kesme sistemi:
- Elmas tel, servo motorlar tarafından tahrik edilen kapalı döngü hareketini oluşturur (düzenebilir 0.5-3m/s)
- Kablo gerilimi, yüksek hassasiyetli sensörler aracılığıyla gerçek zamanlı olarak izlenir (20-50N ayarlanabilir)
- İş masası ± 1μm konumlama doğruluğu ile doğrusal motor sürücüsü kullanır
2İki istasyon koordinasyonu:
- İstasyon A: Yüksek hassasiyetli işleme için tek tel modu (asgari tel çapı 0,1 mm)
- B istasyonu: Seri üretimi için çoklu kablo modu (en fazla 200 kablo)
- Her iki istasyon da robot kolu aracılığıyla otomatik iş parçasının aktarılması ile senkronize çalışabilir
3Kontrol Sistemi:
- G-kod programlamasını destekleyen PLC+PC mimarisi
- Makine görüşü konumlandırma sistemi (5μm tekrarlanabilirliği)
- Kesme gücü ve sıcaklığı da dahil olmak üzere 20'den fazla süreç parametresi gerçek zamanlı izleme
Elmas tel tek/çoklu tel testere makinesinin temel özellikleri
1Yüksek hassasiyetli işleme yeteneği:
- Hızlı hava taşıyan spindle ve doğrusal motor tahrik sistemi, mikron altındaki doğruluğu sağlar
- Adaptatif gerilim kontrol sistemi sabit kesim sürecini korur
- Özel tasarlanmış soğutma sistemi, işleme sıcaklığını etkili bir şekilde kontrol eder.
2Esnek üretim modları:
- Tek istasyonlu yüksek hassasiyetli mod, Ar-Ge ve küçük parti ihtiyaçlarını karşılıyor
- Çok istasyonlu paralel işleme üretim verimliliğini önemli ölçüde artırır
- Hızlı değişim işlevselliği çeşitli üretim gereksinimlerine uyarlanır
3Akıllı Kontrol Sistemi:
- Kullanıcı dostu işletim için gelişmiş HMI arayüzü
- Ana parametrelerin gerçek zamanlı izlenmesi ve otomatik optimizasyonu
- Uzaktan teşhis ve bakım yetenekleri
4Güçlü ve dayanıklı tasarım:
- Önemli bileşenler yüksek dayanıklılıklı aşınmaya dayanıklı malzemeler kullanır
- Modüler yapı bakımı kolaylaştırır
- Kapsamlı koruma sistemleri ekipman ömrünü uzatır
Elmas tel tek/çoklu tel testere makinesinin tipik uygulamalar
1Yarım iletken levha üretimi:
- EV ve 5G altyapısı için SiC/GaN güç cihazı levhalarının hassas kesimi
- LED ve tüketici elektroniği için safir altyapılarının yüksek kaliteli işlenmesi
- Cihazın performansını ve güvenilirliğini sağlayan MEMS sensör çipleri
2Fotovoltaik Üretim:
- Büyük monokristal silikon ingotlarının yüksek verimli dilimlenmesi
- Heterojunction güneş hücrelerinin hassas işlenmesi
- Ultra ince silikon levhaların istikrarlı kesimi (<120μm)
3Optik bileşen işleme:
- Kuvars cam optik elemanlarının hassas şekillendirilmesi
- Lazer kristallerinin (YAG, safir vb.) hassas kesimi
- Kızılötesi optik pencere işleme
4Özel malzeme işleme:
- AlN/Al2O3 seramik altyapılarının hassas işlenmesi
- Silikon karbid kompozitlerinin kesimi
- Ultra sert malzemelerin işlenmesi (CVD elmas)
5Araştırma ve Özel Uygulamalar:
- Yeni yarı iletken malzemelerinin prototip üretimi
- Mikro cihazların ve özel yapıların geliştirilmesi
- Özel şekilli örnek hazırlama
Elmas tel tek/çoklu tel testere makinesinin teknik avantajları
- Stabil işleme kalitesi, %99,5'ten fazla verim oranı
- Çeşitli sert/kırılgan malzemelere uyarlanabilir
- Geleneksel yöntemlere göre önemli ölçüde daha yüksek verimlilik
- Düşük TCO ile kolay işletme ve bakım
Not: Özel boyut işleme ve temiz oda versiyonları dahil olmak üzere özel çözümler mevcuttur.
Elmas tel tek/çoklu tel testere makinesinin sorular listesi
1S: Çift istasyonlu elmas tel testere'nin ana avantajı nedir?
C: Tek tel kesimi ve çok tel seri işlemeyi aynı anda yüksek hassasiyetle sağlar ve tek modlu makinelere kıyasla üretkenliği %50 artırır.
2S: Elmas tel çift istasyonlu testere ile hangi malzemeler kesilebilir?
A: Silikon, SiC, GaN, safir, kuvars ve seramik gibi sert/kırılgan malzemeler ±0.01mm'ye kadar hassasiyetle.
Etiketler: #Elmas tel tek/çok tel testere makinesi,#Yarım iletken wafer işleme
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
