Özel 2 inç 3 inç 4 inç 6 inç 8 inç 12 inç Kuvars Gofretler Şeffaf Füzyon Silika Alt Tabakalar
Kuvars gofretler, yarı iletkenler, optoelektronik, optik ve mikroelektromekanik sistemlerde (MEMS) yaygın olarak kullanılan, yüksek saflıkta sentetik kuvars malzemelerden yapılmış hassas alt tabakalardır. ZMSH, kuvars gofretler, kuvars optik pencereler, kuvars tüpler ve kuvars tekneler gibi ürünler sunan, kuvars yarı iletken malzemelerin Ar-Ge ve üretimi konusunda uzmanlaşmıştır ve kuvars gofretler temel ürün hattımızdır. Boyutlar, kalınlık ve yüzey işlemleri (parlatma, kaplama vb.) ile ilgili özel gereksinimleri karşılayan, 2 inç ila 12 inç gofretler için özelleştirilebilir çözümler sunuyoruz.
ZMSH, yüksek hassasiyet (örneğin, TTV ≤5μm), üstün düzlük (Ra ≤1nm) ve mükemmel yüksek sıcaklık dayanımı (1730°C'ye kadar yumuşama noktası) sağlayan, stokta bulunabilirlik ve özel işleme hizmetleri sunmaktadır. Ürünlerimiz, yarı iletken üretimi, fotomask teknolojisi, sensörler ve lazer sistemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Veri 2-12 inç kuvars gofret için
| Boyut |
İnç |
2 inç |
3 inç |
4 inç |
6 inç |
8 inç |
12 inç |
|
Çap
|
mm |
50.8 |
76.2 |
100 |
150 |
200 |
300 |
| Tolerans (±) |
mm |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
| Kalınlık |
µm |
100 ve üzeri |
100 ve üzeri |
100 ve üzeri |
300 ve üzeri |
400 ve üzeri |
500 ve üzeri |
| Birincil referans düzlemi |
mm |
32.5 |
32.5 |
32.5 |
57.5 |
Yarı çentik |
Yarı çentik |
| LTV (5mmx5mm) |
µm |
< 0.5 |
< 0.5 |
< 0.5 |
< 0.5 |
< 0.5 |
< 0.5 |
| TTV |
µm |
< 2 |
< 2 |
< 2 |
< 3 |
<3 |
<5 |
| Eğilme |
µm |
±20 |
±20 |
±20 |
±30 |
±40 |
±40 |
| Bükülme |
µm |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 30 |
≤ 40 |
≤ 50 |
≤ 50 |
| PLTV(5mm*5mm)<0.4um |
% |
≥95% |
≥95% |
≥95% |
≥95% |
≥95% |
≥95% |
| Kenar Yuvarlama |
mm |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
SEMI Std. |
| Yüzey Tipi |
|
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
SSP/DSP |
| Yüzey Pürüzlülüğü |
nm |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
Temel özellikler 2-12inç kuvars gofret
Kuvars gofretlerin temel özellikleri şunlardır:
-
1. Yüksek Saflıkta Malzeme: SiO₂ saflığı ≥%99.99 olan sentetik kuvars (örneğin, Suprasil veya Corning 7980), yarı iletken işlemlerindeki safsızlıkları en aza indirir.
-
-
2. Termal Kararlılık: Düşük termal genleşme katsayısı (5.5×10⁻⁷/°C), aşırı ortamlar için 1000°C'yi aşan sıcaklıklara dayanır.
-
-
3. Optik Performans: UV'den IR dalga boylarına kadar yüksek geçirgenlik (örneğin, derin UV'de >%90), litografi ve lazer uygulamaları için idealdir.
-
-
4. Yüzey Hassasiyeti: Yüzey pürüzlülüğü (Ra) ≤0.5nm ve toplam kalınlık değişimi (TTV) ≤5μm olan ultra hassas parlatma.
-
-
5. Boyut Aralığı: Özel özellikler için destek ile 2 inç, 4 inç, 6 inç, 8 inç'ten 12 inç'e kadar standart boyutlar.
-
-
6. Kimyasal Atalet: Güçlü asitlere (HF hariç), alkalilere ve plazma aşındırmaya karşı dayanıklıdır, yarı iletken işlemleri için uygundur.
-
Uygulama alanları 2-12inç kuvars gofret
Kuvars gofretler, aşağıda ayrıntılı olarak açıklandığı gibi gelişmiş teknoloji sektörlerinde kritik bir rol oynamaktadır:
| Uygulama Alanı |
Özel Kullanım Alanları |
Kuvars Gofretlerin Avantajları |
| Yarı İletken Üretimi |
- Fotomask alt tabakaları
- Aşındırma proses taşıyıcıları
- CMP parlatma pedleri
- Geçici yapıştırma gofretleri |
Yüksek düzlük, düşük termal genleşme, plazma korozyon direnci |
| Optoelektronik Cihazlar |
- Lazer pencereleri
- Optik filtre alt tabakaları
- IR sensör alt tabakaları
- Fotodedektör ambalajı |
Yüksek UV-IR geçirgenliği, düşük emilim kaybı |
| MEMS/NEMS |
- MEMS yapısal katmanları
- Hassas sensör diyaframları
- Nano baskı şablonları |
Ultra pürüzsüz yüzey, yüksek sertlik, kimyasal kararlılık |
| 5G ve RF Cihazları |
- SAW/BAW filtre alt tabakaları
- Yüksek frekanslı anten tabanları
- Mikrodalga dielektrik rezonatörler |
Düşük dielektrik kaybı, kararlı yüksek frekans sinyal performansı |
| Araştırma ve Optik |
- Senkrotron radyasyon optiği
- X-ışını kırınım pencereleri
- Yüksek güçlü lazer aynaları |
Radyasyon direnci, yüksek lazer hasar eşiği |
| Yeni Enerji |
- PV hücre kaplama alt tabakaları
- Yakıt hücresi elektrolit katmanları
- Lityum pil ayırıcı araştırması |
Yüksek sıcaklık dayanımı, iyon göçünü önleme |
Özel 2-12 inç kuvars gofret için ZMSH Hizmetleri
Kapsamlı Kuvars Gofret Çözümleri: ZMSH, yüksek saflıkta malzemeler (UV sınıfı füzyon silika, düşük OH kuvars) kullanarak hassas işleme (parlatma, kaplama vb.) ile özel kuvars gofret üretimi (2"-12" standart/standart olmayan boyutlar) sağlar. Hizmetlerimiz arasında stokta 4"/6"/8" gofretler, yardımcı ürünler (optik pencereler, kuvars tüpler), tam test sertifikası ve malzeme seçimi ve proses optimizasyonu için teknik destek bulunmaktadır.
SSS 2-12inç kuvars gofret
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
