- Hayır.
4 inç Kuvars Wafer Diameter 100mm Yarım iletken üretimi için erimiş silikon wafer
4 inçlik kuvars levha (100mm) büyük formatlı, ultra yüksek saflıklı erimiş silikon substratıdır. Yarım iletkenler, optoelektronik,ve gelişmiş optik3 inç waferlere kıyasla, 4 inç özellik, özellikle IC fotomasklarının seri üretimi için üretim verimliliğini arttırarak, önemli ölçüde daha fazla kullanılabilir alan sunar.Yüksek güçlü lazer optikleri, ve MEMS sensörleri.
ZMSH4 inç ve daha büyük kuvars levhaların Ar-Ge ve üretimine uzmanlaşmış ve şunları sunmaktadır:
- Tam boy özel: Standart olmayan boyutlar (örneğin, kare, sektör şeklinde) ile 4 inç, 6 inç ve 8 inç waferleri destekler.
- Yüksek hassasiyetli işleme: Çift taraflı ultra cilalama (Ra≤0.5nm), lazer kesme (±0.01mm tolerans) ve sondaj yoluyla mikro delik / özel şekilli içerir.
- Fonksiyonel tedaviler: Yansıtma karşıtı (AR) kaplamalar, IR yansıtma karşıtı, elmas benzeri karbon (DLC) kaplamalar ve daha fazlası.
- Endüstri sınıfı çözümler: Yarım iletken düzeyinde temizlik (Sınıf 10), düşük kusur yoğunluğu (≤0.1/cm2), EUV litografisi ve kuantum bilişim için idealdir.
Özellikleri4 inçlik kuvars plaka
| Teknik terim |
Özellikleri |
| Çapraz |
4 inç (100mm) |
| Kalınlık aralığı |
0.5mm~1.5mm |
| Yüzey Kabalığı (Pulize Edilmiş) |
≤0,5nm |
| İletişim @ 193nm |
>93% |
| CTE (20-300°C) |
0.55×10−6/°C |
| Paralellik |
≤3μm |
| Vakum uyumluluğu |
10−10 Torr |
Temel özellikleri - Ne?4 inçlik kuvars plaka
1Büyük boyutlu hassasiyet.: 100mm çapında TTV≤10μm, süreç birliğinin sağlanmasını sağlar.
2Çok düşük CTE.: 0.55×10−6/°C, yüksek sıcaklıklı işlemler için uygundur (örneğin, kızartma, iyon ekimi).
3Geniş bantlı şeffaflık: >93% iletim @193nm (DUV), >90% @3-5μm (IR).
4Üstün yüzey kalitesi: Nano ölçekli litografi için Ra≤0.5nm ile iki taraflı cilalanmış.
5. Geliştirilmiş dayanıklılık: Seçmeli kimyasal güçlendirme bükülme gücünü 600MPa'ya çıkarır; plazma direnci.
- Hayır.Stratejik Uygulamalar - Ne?4 inçlik kuvars plaka
| Alanı |
Başvurular |
| Yarım iletken |
EUV litografi optikleri, fotomaska substratları, 3 boyutlu NAND aralayıcıları |
| Yüksek güçlü lazerler |
Lazer aynaları, darbeler sıkıştırma ızgaraları, lif lazer kapakları |
| Kuantum Teknolojisi |
Qubit çip taşıyıcıları, soğuk atom tuzağı görüntüleme noktaları, tek fotonlu dedektör substratları |
| Havacılık |
Uydu lensleri, radyasyona dayanıklı sensör pencereleri, parçacık dedektörleri |
| Biyomedikal |
DNA dizimi çipleri, endoskop optikleri, mikrofluidik cihaz kalıpları |
- Hayır.
Kişiselleştirme Hizmetleri
ZMSH4 inç kuvars levhalar için uçtan sona özelleştirme, şunları içerir:
- Malzeme seçimi: JGS1/JGS2 UV veya IR dereceli erimiş silikon.
- Hassas işleme: Nanoscale cilalama (λ/20), lazer mikrostructuring (± 1μm doğruluk).
- Fonksiyonel kaplamalar: AR (193-1064nm), yüksek LIDT lazer kaplamaları (> 5J/cm2).
- KS desteği: Tam denetim raporları (AOI, interferometri).
Sık Sorulan Sorular
- Hayır.
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
