Hassas Sapphire Lift Pins Tek Kristal Al2O3 Yüksek Doğruluklu Wafer Konumu için Kullanım Direnci
Sapphire asansör çubukları, yüksek saflıklı tek kristal safirden üretilen hassas mekanik bileşenlerdir. Yüksek hassasiyetle konumlandırma, yüksek sıcaklığa direnç,ve aşınma yoğun uygulamaları . ZMSH tam parametreler özelleştirme hizmetleri sunar (diametre, uzunluk, yüzey kabalığı ve kristalografik yönelim optimizasyonu dahil),yarı iletkenlerin aşırı performans taleplerini karşılamak için hızlı küçük parti teslimatını desteklemek, tıbbi, havacılık ve endüstriyel sektörler.
Ana Özellikler
1Çok yüksek mekanik dayanıklılık: 300.000 psi'yi aşan bir basınç dayanıklılığı ile, bu çubuklar yüksek frekanslı kaldırma yüklerine (örneğin,Yarım iletken üretiminde 12 inçlik wafer işleme sistemleri).
2. Yüksek sıcaklıkta istikrarlılık: 1.500°C'de sürekli çalışmak ve 2.050°C'ye kadar kısa süreli maruz kalmaya dayandırmak (lazer kaynak veya yanma odası konumlandırması için idealdir).
3Düşük sürtünme katsayısı: Poliş sonrası sürtünme katsayıları <0,15 hassas hareket sırasında enerji kaybını en aza indirir (örneğin, litografi aşaması ayarları).
4. Kimyasal İnerti: Güçlü asitlere, alkalilere ve organik çözücülere dayanıklı, temiz odalar ve yarı iletken kazım ortamları için uygundur.
Teknik parametreler
| Kimyasal bileşim |
Monokristalin Al2O3 |
| Sertlik |
9Mohs |
| Optik doğa |
Tek eksenli |
| Yıkım endeksi |
1.762-1.770 |
| Yasa ihlali |
0.008-0.010 |
| Dağınıklık |
Düşük, 0.018 |
| Parlaklık |
Şeffaf |
| Pleokroizm |
Orta Ya da Güçlü |
| Çapraz |
0.4mm-30mm |
| Diametre toleransı |
0.004mm-0.05mm |
| uzunluk |
2mm-150mm |
| Uzunluk toleransı |
0.03mm-0.25mm |
| Yüzey kalitesi |
40/20 |
| Yüzey yuvarlaklığı |
RZ0.05 |
| Özel şekil |
İki ucu da düz, bir ucun yarıçapı, her iki ucun yarıçapı,
Eyer sapları ve özel şekiller |
Başlıca Uygulamalar
(1) Yarım iletken üretimi- Hayır.
- Hayır.· Wafer İşleme Sistemleri : 12 inçlik wafer fabrikalarında ±1μm konumlama doğruluğuna ulaşmak, saatte 200 döngüye dayanmak.
- Hayır.· Fotolitografi Aşama Kalibrasyonu : Nanometre ölçeğinde ayarlamalar yoluyla silikon levhaların termal genişlemesini telafi edin (termal genişleme katsayısı: 5.3×10−7/°C).
- Hayır.(2) Tıbbi cihazlar- Hayır.
- Hayır.· Cerrahi Robot Kateterleri : Ultra ince duvarlı tüpler (< 50μm) doku hasarı olmadan minimum invaziv damar müdahalelerini sağlar.
- Hayır.· Radyoterapi Ekipmanı Kalibrasyonu : Proton tedavisi sistemlerinde radyasyon odak noktalarını ± 0.01mm doğrulukla ayarlayın.
- Hayır.(3) Havacılık ve Savunma- Hayır.
- Hayır.Roket Vektör Kontrolü.: Hedef ayarlama mekanizmalarında kullanılır, -196 °C'den 1,200 °C'ye kadar termal döngüye dayanır.
· Uydu Optik Sistemleri : Uzay görevleri sırasında dış yükleri korumak, vakum ve radyasyon altında işlevselliği korumak.
- Hayır.(4) Endüstri ve Araştırma- Hayır.
- Hayır.· Elektron Mikroskopi Aşamaları : 10−10 mbar vakum ortamlarında ±5nm konumlandırmayı etkinleştir.
· Nükleer Füzyon Reaktörleri : >100.000 döngü boyunca nötron ışınlamasına (>1015 n/cm2) ve plazma erozyonuna dayanır.
Sık Sorulan Sorular
- Hayır.
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
