Sapphire Asansör Pinleri Sapphire Çubukları Hassas Üretim Endüstriyel Uygulamalar Wafer Taşıma

Sapphire Asansör Pinleri Sapphire Çubukları Hassas Üretim Endüstriyel Uygulamalar Wafer Taşıma

ZMSH, safir kristal malzemelerinin Ar-Ge, imalat ve satışlarına odaklanarak safir asansör iğneleri üretiminde uzmanlaşmıştır.Safir asansör iğneleri olağanüstü dayanıklılıklarıyla ünlüdür, yüksek sertlik, korozyon direnci ve üstün optik özellikleri, onları yüksek kaliteli ekipman imalatı ve hassas işleme uygulamaları için idealdir.ZMSH özel işleme hizmetleri sunar, çeşitli endüstriyel gereksinimleri karşılamak için çeşitli özelliklerde safir asansör iğneleri tasarlayabilir ve üretebilir.

Teknik özellikler

Temel İşlevlerSapphire asansör iğneleri

Sapphire kaldırma çubukları, esas olarak levha aktarımı ve konumlandırılması için kullanılan yarı iletken ve LED üretim ekipmanlarındaki kritik bileşenlerdir.

1. Wafer Destek & Dikey Hareket

İnce film çökeltme (örneğin, MOCVD), kazma veya litografi işlemlerinde, robot kolları, safir kaldırma iğneleriyle hareket ederek oda zemininden yükselmek için, waferleri (örneğin,2/4/6-inç alt katmanlar) yükleme ve boşaltma işlemlerini kolaylaştırmak için düzeyde konumlandırmayı korurken.

2Yüksek sıcaklık ortamlarında istikrarlı performans

Safir (tek kristal Al2O3), 2050°C'de ultra yüksek bir erime noktasına sahiptir ve 1000°C'den fazla uzun süre çalışmayı sağlar (örneğin,GaN epitaksiyel büyüme) metal iğnelerin tipik termal deformasyon veya wafer kirliliği riski olmadan.

3Süreç bütünlüğü için kimyasal inertlik

Asitlere, alkalilere ve plazma ortamlarına karşı olağanüstü dayanıklılığı ile safir, kazım veya CVD süreçleri sırasında kirlilik salınmasını önler.Üretim saflığını sağlamak (özellikle SiC/GaN gibi geniş bant aralığı yarı iletkenler için kritik).

Ana Avantajları
 

1Ultra Düşük Kirlenme: Metal (örneğin, molibden) veya seramik (örneğin, AlN) alternatiflerine kıyasla, safir, sınıf 10 temiz oda standartlarını karşılayarak minimum parçacık dökülmesi üretir.

2Olağanüstü Sertlik (Mohs 9): Yüzey çizik direnci, 100.000 döngüden fazla hizmet ömrünü uzatır.

3Eşleşen Termal Genişleme Katman: SiC/GaN levhalarıyla (~ 7,5×10−6/°C) yakın hizalanma, termal gerilimden kaynaklanan bükülmeyi veya çatlamayı en aza indekler.

Tipik UygulamalarSapphire asansör iğneleri

1. LED Epitaxial Wafer Üretimi: MOCVD reaktörlerinde GaN epitaxial büyüme sırasında safir substratlarını destekler.

2Güç Yarım iletken üretimi: SiC levhaları için yüksek sıcaklıklı iyon implantasyonu veya kızartma işlemlerini sağlar.

3Gelişmiş ambalajlama: Wafer düzeyinde (WLP) ultra ince vafeler için mikron seviyesinde kesin konumlandırmayı sağlar.

İlişkili ürünler

ZMSH, yüksek kaliteli safir çubukları üretmekte uzmanlaşmış, üstün dayanıklılık, termal istikrar ve korozyon direnci için tasarlanmış.Tam özellikleri karşılamak için hassas işleme sunuyoruz.