Yarım iletken ekipmanlarının "temel gücü" - silikon karbit bileşenleri

Yarım iletken ekipmanlarının "temel gücü" - silikon karbit bileşenleri

Silikon karbür (SiC), mükemmel bir yapısal seramik malzemedir. Silikon karbür bileşenleri, esas olarak silikon karbürden ve kompozite malzemelerinden yapılan ekipman bileşenleridir.Yüksek yoğunluk gibi özelliklere sahiptir., yüksek termal iletkenlik, yüksek bükme gücü ve büyük elastik modül.Wafer epitaksi gibi üretim süreçlerinde güçlü korozivite ve ultra yüksek sıcaklıklarda sert reaksiyon ortamlarına adapte olabilirler.Bu nedenle, epitaksiyel büyüme ekipmanı, kazım ekipmanı, oksidasyon / difüzyon / ısınma ekipmanı gibi ana yarı iletken ekipmanlarında yaygın olarak kullanılırlar.

Kristal yapısına göre, silikon karbürün birçok kristal biçimi vardır. Şu anda, yaygın SiC türleri esas olarak 3C, 4H ve 6H'dir. SiC'nin farklı kristal formlarının farklı uygulamaları vardır.Aralarında, 3C-SiC, yaygın olarak β-SiC olarak da adlandırılır. β-SiC'nin önemli bir uygulaması bir film ve kaplama malzemesidir. Bu nedenle, şu anda, β-SiC, grafit taban kaplama için kullanılan ana malzemedir.

Hazırlama sürecine göre, silikon karbid bileşenleri kimyasal buhar çökümü silikon karbid (CVD SiC), reaksiyon sinterleme silikon karbid,Silikon karbürünü yeniden kristalleme sinterleme, atmosferik basınçlı sinterleme silikon karbür, sıcak presleme sinterleme silikon karbür ve sıcak izostatik presleme sinterleme silikon karbür vb.

Silikon karbid malzemelerinin hazırlanması için çeşitli yöntemler arasında, kimyasal buhar çökme yöntemi yüksek tekdüzelik ve saflık ile ürünler üretir.Ve bu yöntemin de güçlü bir süreç kontrol edilebilirliği varCVD silikon karbid malzemeleri, mükemmel termal, elektrik ve kimyasal özelliklerinin benzersiz kombinasyonu nedeniyle yarı iletken endüstrisinde kullanılmak için özellikle uygundur.

Silikon karbid bileşenlerinin pazar boyutu

01CVD silikon karbid bileşenleri

CVD silikon karbid bileşenleri, başkaları arasında kazma ekipmanlarında, MOCVD ekipmanlarında, SiC epitaksiyel ekipmanlarında ve hızlı ısı işlem ekipmanlarında yaygın olarak kullanılır.

Çizme ekipmanları:CVD silikon karbid bileşenleri için en büyük pazar segmenti kazım ekipmanlarıdır..CVD silikon karbidinin klor ve florin içeren kazma gazlarına karşı düşük reaksiyon ve iletkenliği nedeniyle,Plasma kazım ekipmanlarında odaklanma halkaları gibi bileşenler için ideal bir malzeme haline getirir..

Silikon karbid odaklama halkası

Grafit taban kaplama:Düşük basınçlı kimyasal buhar birikimi (CVD), yoğun SiC kaplamaları hazırlamak için şu anda en etkili işlemdir.SiC kaplamalı grafit substratları, genellikle tek kristal substratları desteklemek ve ısıtmak için metal organik kimyasal buhar çökümü (MOCVD) ekipmanlarında bileşen olarak kullanılır, ve MOCVD ekipmanlarının temel anahtar bileşenleridir.

02 Silikon Karbid Bileşenlerinin Sinterlenmesi

Reaksiyon sinterlenmesine maruz kalmış SiC malzemeleri (reaksiyon erime sızması veya reaksiyon bağlanması) sinterleme hattının küçülme hızını %1'den aşağı kontrol edebilirler.Sinterleme sıcaklığı nispeten düşüktür, bu da deformasyon kontrolü ve sinterleme ekipmanlarına olan gereksinimleri önemli ölçüde azaltır.ve optik ve hassas yapı üretim alanlarında yaygın olarak uygulanmıştır..

Entegre devreler için önemli üretim ekipmanlarındaki bazı yüksek performanslı optik bileşenler için, malzeme hazırlığı için sıkı gereksinimler vardır.Yüksek performanslı reflektörler üretmek için silikon karbid substratının kimyasal buhar çöküntüsü ile birleştirilen silikon karbid (CVDSiC) film tabakası ile reaktif sinterleme yöntemini kullanarak, öncü türleri, çökme sıcaklığı, çökme basıncı, reaksiyon gazı oranı, gaz akış alanı ve sıcaklık alanı gibi önemli süreç parametrelerini optimize ederek,Büyük alanlı ve tek tip CVD SiC film katmanları hazırlanabilir., aynanın yüzey doğruluğunun yurtdışından benzer ürünlerin performans göstergelerine yaklaşmasını sağlar.

Litografi makineleri için silikon karbid optik aynalar

Çin İnşaat Malzemeleri Bilim ve Teknoloji Akademisi'nden uzmanlar büyük boyutlu,karmaşık şekilli, çok hafif, tamamen kapalı litografi makinesi kullanımı silikon karbit seramik kare aynalar ve diğer yapısal ve işlevsel optik bileşenler.

Çin İnşaat Malzemeleri Bilim ve Teknolojisi Akademisi tarafından geliştirilen reaksiyonla sinterlenmiş silikon karbidin performansı, yabancı şirketlerin benzer ürünlerinin performansı ile karşılaştırılabilir.

Şu anda yurtdışında entegre devrelerin çekirdek ekipmanları için hassas seramik bileşenlerin araştırılması ve uygulanmasında lider olan şirketler arasında Japonya'nın Kyocera,ABD'den CoorsTekBu şirketlerin arasında Kyocera ve CoorsTek, entegre devre çekirdek ekipmanlarında kullanılan yüksek kaliteli hassas seramik bileşenlerin pazar payının %70'ini oluşturuyor.Çin'de, Çin Ulusal Bina Araştırma Enstitüsü, Ningbo Volkerkunst vb.Ülkemiz, entegre devre ekipmanları için hassas silikon karbid bileşenlerinin hazırlama teknolojisi ve uygulama teşvikinde araştırmalara nispeten geç başladı, ve hala uluslararası önde gelen şirketlerle karşılaştırıldığında bir farkı var.

Gelişmiş silikon karbid bileşenleri üretiminde öncü olarak, ZMSH kendini hassas SiC ürünleri için kapsamlı çözüm sağlayıcısı olarak kurdu.Özel SiC mekanik parçalarından yüksek performanslı substratlara ve seramik bileşenlere kadar uçtan uca yetenekler sunarÖzel basınçsız sinterleme ve CNC işleme teknolojileri kullanılarak,olağanüstü termal iletkenliğe (170-230 W/m·K) ve mekanik dayanıklılığa sahip (bükme dayanıklılığı ≥400MPa) özel SiC çözümleri sunuyoruz, yarı iletken ekipmanlarında, elektrikli araç güç sistemlerinde ve havacılık termal yönetiminde zorlu uygulamalar sunuyor. Our vertically integrated production covers the entire value chain - from high-purity SiC powder synthesis to complex near-net-shape ceramic component fabrication - enabling precise customization of dimensional tolerances (up to ±5μm) and surface finishes (Ra≤0.1μm) hem standart hem de uygulama özel tasarımlar için. Şirketin otomobil endüstrisine uygun 6 inç/8 inçlik SiC substratları, sınıfındaki en iyi mikro boru yoğunluklarına (<1 cm−2) ve TTV kontrolüne (<10μm) sahiptir.Reaksiyon bağlı SiC seramik ürünlerimiz aşırı kimyasal ortamlarda üstün korozyon direnci gösterirkenCVD kaplama, lazer işleme ve yıkıcı olmayan testlere kadar kapsamlı kendi yetenekleri ile ZMSH, prototip gelişiminden seri üretime kadar tam teknik destek sağlar.Müşterilere yüksek sıcaklıklarda malzeme zorluklarının üstesinden gelmelerine yardımcı olmak, yüksek güç ve yüksek aşınma çalışma koşulları.

AşağıdakilerSiC seramik tepsilerZMSH:

* Lütfen herhangi bir telif hakkı sorunu için bizimle iletişime geçin, ve biz derhal bunları ele alacağız.