Kuvars odak yüzüğü nedir?

             
Kuvars odak halkaları, yarı iletken plazma kazım işlemlerinde kritik bir tüketilebilir bileşendir.Tipik olarak yüksek saflıkta erimiş kuvarsdan yapılır ve yonga üretiminde vazgeçilmez bir rol oynarTemel işlevi, wafer yüzeyinde çok tekdüze kazım performansını sağlamak için plazmayı sınırlamak ve yönlendirmektir.

 

Temel işlevleri:
Çizim işlemlerinde neden vazgeçilmez?

Plazma kazımı sırasında, kuvars odak halkaları öncelikle aşağıdaki önemli görevleri yerine getirir:

• Tekdüze kazım için plazma odaklamaÖzel tasarımı sayesinde plazma plaka kenarında bile sabit ve tekdüze kalır."Kara etkisi"ni ortadan kaldırır ve wafer yüzeyinin tamamında oldukça tutarlı kazım oranlarını ve kritik boyutları (CD) sağlar.
   
• Yüksek değerli ekipmanları korumak ve bileşenlerin kullanım ömrünü uzatmak: Odaklanma halkaları, doğrudan plazma bombardımanını taşıyan ve elektrostatik çak (ESC) gibi altta yatan çekirdek hassasiyet bileşenlerini hasarlardan koruyan tüketilebilir koruyucu bir kalkan olarak çalışır.
   
• Kirlenmenin önlenmesi ve wafer veriminin korunması: Kuvarsın kendisi metaller gibi zararlı kirlilikler içermez ve plazma maruziyetinde yavaşça oksijen salgılar.Bu oksijen, kazım sırasında üretilen polimerlerle reaksiyona girerek CO ve CO2 gibi kolayca pompalanabilen gazlar oluşturur., vafelerin arka tarafındaki kirliliği etkili bir şekilde önler.

       
Jingge Yarım iletkenleri yüksek saflıklı kuvars cihazlarının özel işlenmesi (5N, 6N saflık), sentetik kuvars, gazla füzyonlu kuvars, elektrikle füzyonlu kuvars, kuvars bileşenleri, kuvars kazma halkaları,Kuvars odak halkaları, kuvars levhaları, optik kuvars levhaları vb. Tel: 17826693981.

Kuvars Neden Kullanılır?

      Odak halkaları için birden fazla malzeme seçeneği vardır, ancak kuvars benzersiz özellikleri ile öne çıkar:

• Ultra yüksek saflık: Yarım iletken sınıfı kuvars, tipik olarak 99.998% veya daha yüksek bir saflığa ulaşır, waferlere metal kirliliği kirliliğini en aza indirir.
• Üstün kimyasal korozyon direnci: Kuvars, çok aşındırıcı kazım gazları (CF4, SF6 ve Cl2 gibi) ve plazma saldırısı ile erozyona dayanır.
• Mükemmel termal kararlılık: Kuvars, 1000°C'den fazla sıcaklığa dayanabilir ve yüksek sıcaklık süreçlerinde hassas boyutsal istikrar sağlayan son derece düşük bir termal genişleme katsayısına sahiptir.
• Keyifli dielektrik özellikleri: Dielektrik sabiti (yaklaşık 3.8) istenen plazma odaklama performansını destekler.

Üretim ve Pazar:
Hassas İşlem ve Küresel Tedarik

• Hızlı işleme: Kuvars odak halkalarının üretimi, son derece yüksek hassasiyet gereksinimlerini gerektirir ve gelişmiş 5 eksenli CNC işleme ve cilalama teknolojilerini gerektirir.Ana boyut toleransları ±0 içinde kontrol edilebilir.0,02 mm veya hatta ±0,001 mm, yüzey kabalığı (Ra) 0,002 μm'den daha düşüktür.
• Ana üreticiler: Küresel piyasadaki kilit oyuncular arasında Entegris, CoorsTek, Heraeus Quartz ve Tosoh Quartz gibi uluslararası liderler ve Dunyuan Juxin gibi Çinli şirketler bulunmaktadır.Zhenbao Teknolojisi ve Jingge Yarım iletkenÜrünler genellikle MXP + ve Centura serisi gibi Uygulanan Malzemelerden (AMAT) geleneksel kazım platformlarıyla uyumludur.