Wafer düzlüğü ile çentik arasındaki bağlantı
Wafer düzlüğü ve çentiği, wafer üretiminde wafer yönelimini belirlemek için kullanılan önemli özelliklerdir ve wafer işleme, hizalama ve denetleme konusunda çok önemli bir rol oynarlar.
1. Wafer Flat
"Wafer düz" waferin dış kenarının düz kısmını ifade eder.waferin belirli yönünü işaretlemek ve waferin işleme ve atma sırasında doğru bir şekilde hizalandırılabilmesini sağlamak için kullanılanBunu, cihazın içinde waferlerin doğru yerleştirilmesine yardımcı olan bir pusula göstergesi olarak düşünün.
Fonksiyon ve Etkisi:
Yön göstergesi: konumlandırma kenarı genellikle waferin spesifik kristal yüzü yönelimini gösterir. Örneğin, P tipi <100> silikon wafer için,konum kenarı ana yönelimini göstermeye yardımcı olabilirBunun nedeni, farklı kristal yönelimlerine sahip silikon kristal yapılarının fiziksel ve elektrik özelliklerinde farklı olmasıdır.ve wafer konumlandırma kenarının rolü, wafer işleme sırasında kristal yöneliminin doğru bir şekilde belirlendiğini sağlamak.
Hizalama işareti: Wafer üretiminde, litografik hizalama, kazım hizalama vb. gibi çoklu aşamalı hizalama işlemleri gerçekleştirmek gerekir.Konum belirleme kenarı, cihazın wafer konumunu hizalamasına ve işleme doğruluğunu sağlamak için haritada bir koordinat belirleyicisi gibidir.
Örnek bir benzerlik: bir waferin konumlandırma kenarı, bulmaca bulmacasındaki gösterge çizgileri ile karşılaştırılabilir.Bulmacayı doğru bir şekilde tamamlayamayabiliriz..
2Wafer Notch.
Wafer çentiği, waferin dış kenarındaki küçük bir kesik veya çentiktir. Bu oluk konumlandırma kenarına benzer ve aynı zamanda waferin yönünü işaretleme rolüne sahiptir.Ama şekli ve işlevi farklı.Tipik olarak, çentik fiziksel bir çentikken, konumlandırma kenarı düztür.
Fonksiyon ve Etkisi:
Kesin konumlandırma: Notç, özellikle 300 mm gibi daha büyük waferlerde daha doğru yönlü tanımlama sağlamak için sıklıkla kullanılır.Üretim ekipmanı, waferin yönelimini daha kolay tanımlayabilir., waferin döndürülmesi veya hafif hareketinden kaynaklanan hizalama hatalarından kaçınmak.
Düzleştirme hatalarından kaçının: Çentikler, otomasyon ekipmanlarının waferin tüm süreç boyunca daha istikrarlı bir şekilde yönelişini korumasına yardımcı olan işaretçiler olarak hizmet eder.
Örnek bir benzetme: Çentiği bir otomobil lastiğinin valf pozisyonuna kıyaslayabilirsiniz, ancak lastiğin dönüşünü etkilemez.Ama lastiğin doğru bir şekilde yerleştirilmesi için lastiğin konumlandırılmasının önemli bir noktasıdır..
3. Wafer düz ve çentik arasındaki bağlantı
Wafer düzlemleri ve çentikleri, wafer üretimi sırasında birbirini tamamlar.Çentikler daha fazla kesin konumlandırma için fiziksel bir işaretçi sağlarkenHer ikisi de çoğu uygulamada, özellikle büyük lövelerde (300mm löveler gibi) bulunur.
Wafer işleme işbirliği rolü:
Düz, waferin genel yönelimini belirlemeye yardımcı olur ve waferin başlangıç hizalanmasını sağlar.Çentik ayrıca cihazın yönelimi daha kesin bir şekilde belirlemesine yardımcı olan fiziksel bir özellik sağlar, üretim süreci boyunca doğruluğu sağlar.
4- Pratik uygulamalarda dikkat edilmesi gereken noktalar
Üretim sırasında darbe: Düz ve çentiklerin doğruluğu, tüm waferin işleme doğruluğu için kritiktir.Tüm waferin elektrik özelliklerinin dengesiz olmasına neden olabilir.Bu nedenle, üretim sürecinde, bu özelliklerin doğruluğunu sağlamak çok önemlidir.
İşaretleme yöntemlerindeki farklılıklar: Farklı wafer tedarikçileri farklı işaretleme yöntemleri kullanabilir, örneğin, bazı waferlerin sadece düz ve çentiği olmayabilir; Bazıları düzlere çentik ekleyebilir.Bu işaretleri tasarlarken, ekipmanların uyumluluğu ve üretim sürecinin gereksinimleri dikkate alınmalıdır.
5Sonuç.
Wafer düzlükleri ve çentikleri görünüşte farklıdır, ancak birlikte wafer yönelimini belirlemede ve hizalama doğruluğunu sağlamakta önemli bir rol oynarlar.Genel yönü belirlememize yardımcı oluyor.Çentik, üretim sırasında yönün tutarlılığını sağlamaya yardımcı olan daha hassas bir fiziksel özelliktir.Özellikle büyük boyutlu levhaların üretiminde, daha kritik bir rol oynuyor.
ZMSH ile ilgili ürünler:
İzlediğiniz için teşekkürler!
