Vertical'in ıslak kazım teknolojisi AlGaInP kırmızı mikro LED'lerin seri üretimine hazır
ABD merkezli Ar-Ge şirketi Vertical, ıslak kazım teknolojisinin artık AlGaInP kırmızı mikro-LED'lerin seri üretimi için hazır olduğunu açıkladı.Yüksek çözünürlüklü mikro LED ekranların ticarileştirilmesinde önemli bir engel, verimliliği korurken LED yongalarının boyutunu azaltmaktır., kırmızı mikro-LED'ler, mavi ve yeşil karşıtlarına kıyasla verimliliğin düşmesine özellikle duyarlıdır.
Bu verimliliğin azalmasının başlıca nedeni, plazma tabanlı mesa kuru kazımında oluşan yan duvar kusurlarıdır.Bu nedenle çabalar büyük ölçüde kimyasal işlem gibi kuru kazım sonrası tekniklerle hasarı hafifletmeye odaklanmıştır.Bununla birlikte, bu yöntemler yalnızca kısmi bir geri kazanım sağlar ve yüksek çözünürlüklü ekranlar için gerekli olan küçük yongalar için daha az etkilidir.Yan duvar kusurlarının çipin derinliklerine nüfuz edebileceği, bazen büyüklüğünü aştı.
Bu nedenle, "kusursuz" kazım yöntemlerinin araştırılması yıllardır devam etmektedir.Ancak izotropik özellikleri istenmeyen fiyat alçaltmasına yol açabilir, mikro-LED'ler gibi küçük yongaların kazınması için uygun değildir.
Bununla birlikte, LED ve ekran teknolojileri konusunda uzmanlaşmış San Francisco merkezli bir firma olan Vertical, yakın zamanda önemli bir atılım yaptı.Şirket, AlGaInP kırmızı mikro-LED'leri için kusursuz bir ıslak kimyasal kazım süreci geliştirdi, özellikle mesa kazımının zorluklarını hedefliyor.
CEO'su Mike Yoo, Vertical'in bu ıslak gravür teknolojisini seri üretim için ölçeklendirmeye hazır olduğunu belirtti.Büyük ekranlardan yakın göz ekranlarına kadar değişen uygulamalar için mikro-LED ekranlarının ticari olarak benimsenmesini hızlandırmak.
Kuru ve ıslak kazıdaki yan duvar kusurlarını karşılaştırmak
Yan duvar kusurlarının etkisini daha iyi anlamak için, Vertical, ıslak ve kuru kazınmış AlGaInP kırmızı mikro LED'leri katodoluminesans (CL) analizi kullanarak karşılaştırdı.bir elektron ışını mikro-LED yüzeyinde elektron delik çiftleri üretir, ve hasar görmemiş kristaldeki radyatif rekombinasyon parlak emisyon görüntüleri üretir. Tersine, hasarlı alanlarda radyatif olmayan rekombinasyon çok az veya hiç luminesans yaratmaz.
CL görüntüleri ve spektrumları iki kazım yöntemi arasında keskin bir zıtlık ortaya çıkarır.Emisyon alanı kuru kazılı LED'lerin üç katından daha büyükMike Yoo'ya göre.
Özellikle, kuru kazınan mikro-LED'ler için yan duvar kusurunun nüfuz derinliği yaklaşık 7 μm iken, ıslak kazınan mikro-LED'ler için derinlik neredeyse yoktur ve 0.2 μm'den azdır.,Bu CL bulguları, çok az, hatta herhangi bir,AlGaInP kırmızı mikro LED'lerde bulunan yan duvar kusurları.
ZMSH'de, premium ürünlerimizle daha fazlasını elde edebilirsiniz. 2, 4 ve 6 inç'te mevcut olan, aktif InGaAlAs/InGaAsP katmanlarına sahip, N-InP substratları olan DFB levhaları sunuyoruz.Özellikle gaz sensörü uygulamaları için tasarlanmıştırEk olarak, n/p tipi InP substratları ile yüksek kaliteli InP FP epiwaferleri sunuyoruz, 2, 3 ve 4 inç boyutta, 350 ila 650 μm arasında kalınlıklarda,Optik ağ uygulamaları için idealdirÜrünlerimiz ileri teknolojilerin kesin gereksinimlerini karşılamak için tasarlanmıştır, güvenilir performans ve özelleştirme seçeneklerini sağlar.
DFB wafer N-InP substrat epiwafer aktif katman InGaAlAs/InGaAsP 2 4 6 inç gaz sensörü için
N-tip Indium Fosfür (N-InP) substratı üzerindeki dağıtılmış geri bildirim (DFB) levha, yüksek performanslı DFB lazer diyotlarının üretiminde kullanılan kritik bir malzemedir.Bu lazerler tek mod gerektiren uygulamalar için gereklidir.DFB lazerleri tipik olarak 1.3 μm ve 1.55 μm dalga boyları aralığında çalışır.optik liflerde düşük kayıplı iletim nedeniyle fiber optik iletişim için optimaldir.
(Daha fazla bilgi için resme tıklayın)
Indium Fosfür (InP) Epiwafer, gelişmiş optoelektronik cihazlarda, özellikle Fabry-Perot (FP) lazer diyotlarında kullanılan önemli bir malzemedir.InP Epiwaferler, InP substratında epitaksiyel olarak yetiştirilen katmanlardan oluşur., telekomünikasyon, veri merkezleri ve algılama teknolojilerinde yüksek performanslı uygulamalar için tasarlanmıştır.
(Daha fazla bilgi için resme tıklayın)
