Kısa bilgi: Diğer seçeneklerle nasıl karşılaştırıldığını merak mı ediyorsunuz? Demoyu görün ve kendiniz karar verin. Bu videoda, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı yarı iletken işleme ortamlarında hassas levha işleme yeteneklerini gösteren SiC Seramik Uç Efektörünü çalışırken sergiliyoruz. Yüksek saflıkta SiC yapısının temiz oda uygulamaları için güvenilirliği ve düşük parçacık oluşumunu nasıl sağladığını göreceksiniz.
İlgili Ürün Özellikleri:
Üstün performans için ≥%99 saflığa sahip yüksek saflıkta Silisyum Karbürden (SiC) yapılmıştır.
1600°C'ye kadar aşırı sıcaklıklara dayanır, yüksek ısılı yarı iletken işlemler için idealdir.
Asitlere, bazlara ve plazma ortamlarına karşı mükemmel direnç, kimyasal stabilite sağlar.
Dayanıklılık için 400 MPa'nın üzerinde bükülme mukavemeti ile yüksek mekanik mukavemet.
Düşük parçacık üretimi tasarımı, Sınıf 1-100 temiz odalarda temizliği korur.
Robotik kol uyumluluğuna sahip 4 inç ila 12 inç arası wafer'lar için özelleştirilebilir boyutlar mevcuttur.
Özel kullanıcı gereksinimlerini karşılamak için cilalı veya mat yüzey kaplamaları sunar.
Plakanın taşınması, aşındırılması ve biriktirilmesinde boyutsal doğruluk ve güvenilirlik sağlar.
SSS:
SiC Seramik Uç Efektörü için kullanılan malzeme nedir?
SiC Seramik Uç Efektörü, ≥%99 saflığa sahip yüksek saflıkta Silisyum Karbürden (SiC) yapılmıştır ve zorlu yarı iletken işleme ortamları için mükemmel termal direnç, mekanik mukavemet ve kimyasal stabilite sağlar.
SiC Seramik Uç Efektörü hangi uygulamalar için uygundur?
Plaka işleme, aşındırma ve biriktirme gibi yarı iletken işleme, robotik kol entegrasyonu ve paket testi ve talaş ayıklama için idealdir ve çeşitli üretim aşamalarında güvenilir performans sağlar.
SiC Seramik Uç Efektörü temiz oda ortamlarıyla uyumlu mu?
Evet, SiC Seramik Uç Efektörü, Sınıf 1-100 temiz odalarda kullanıma uygundur ve optimum temizlik ve ultra temiz yarı iletken üretim ortamlarıyla uyumluluk sağlar.